Metody formirovaniya mikrorel'efa dlya sintezadifraktsionnykh opticheskikh elementov

Abstract


Проанализированы способы изготовления поверхностного рельефа. Определены требования к микрорельефу,
исходя из фазовой функции дифракционных оптических элементов. Рассмотрены методы
формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов.

About the authors

A V Volkov

References

  1. Каледин Б.Ф., Мальцев М.Д., Скороходов Л.И. Производство оптико-электронных приборов. М.: Машиностроение, 1981, 98 с.
  2. Элементы оптоэлектронных устройств /Под ред. П.И.Госкова. Барнаул: БГУ. 1969.153 с.
  3. Сойфер В.А. Введение в дифракционную микроопгику. Самара: СГАУ. 1996. 94 с.
  4. Программное обеспечение по компьютерной оптике / С. Г. Волотовский, М.А. Голуб, Л.Л. Досколович, И.Л. Казанский, B.C. Павельев, П.Г. Серафимович, B.A. Сойфер, С.И. Харитонов, А.Е. Царегородцев // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1995, 14-15. С. 94-106.
  5. Soifer V.A., Golub М.А, Diffractive micro-optical elements with non-point response // Proceedings SPIE, 1992, № 1751. P.140-154.
  6. Bryndahl O. Formation of Blazed Grating. // J. Opt. Soc. Am, 1970. 60. P. 140-145.
  7. Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сойфер B.A. Расчет двухпорядковых фокусаторов // Автометрия, 1993, №1.С. 58-63.
  8. Curcio М. Diamond machining of infrared optics utilizing two-axis machine technology // Proceedings SPIE. 1981. № 306. P. 105-113.
  9. Clark P.P., Londono C. Production of kinoform by single point diamond machining // Optics News. 1989. .№ 15, P.39-40.
  10. Булатов Е.Д., Гридин С.A., Даниленко А.А. Изготовление элементов плоской оптики миллиметрового и субмиллиметрового диапазона на серийных промышленных станках с числовым программным управлением // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1987. № 1. С. 167-173.
  11. Sweeney D. W., Sommargren G.E. Hannonic diffractive lenses //Applied Optics. 1995. V. 34, № 14. P. 2469-2475.
  12. Бобров С. Т., Туркевич Ю.Г, Применение лазеров в системах преобразования, передачи и обработки ршформации. л., 1978, С.73-77.
  13. Гуревич С.Б., Ильяшенко КН., Коломиец Б.Т. Оптические методы обработки информации. Л.: Наука, 1974. С. 117-134.
  14. Гейсрух Г.И., Ефименко И.М., Степанов С.А. Отика градиентных и дифракционных элементов, М.: Радио и связь, 1990.136 с.
  15. Грищенко В.К, Маслюк А.Ф., Гундзера С.С. Жидкие фотополимеризующиеся композиции. Киев: Наукова думка, 1985.143 с.
  16. Введение в фотолитографию / Под ред. В.П. Лаврищева. М.: Энергия, 1997. 36 с.
  17. Swanson G.J. Binary optics technology: the theory and design of multi-level diffractive optical elements // Technical Report 854. Lincohi Laboratory. Cambridge: Mass. Inst, of Technology, 1989. 265 p.
  18. Golub M.A. Rybakov O.E., Uspleniev G.V., Volkov A.V., Volotovsky S.G. The technology of fabricating focusators of infrared laser radiation // Optics & Laser Technology. Vol. 27. № 4. 1995. P. 215-218.
  19. Черняев B.H. Технология прогаводства интегральных микросхем. М.: Энергия, 1977. 375 с.
  20. Ефимов И.Е., Козырь И.Я. Основы микроэлектроники. М.: Высш. школа, 1983. 384 с.
  21. Volkov А. V., Kazanskiy N.L. Moiseyev OYu. Soifer V.A. A Method for the Diffractive Microrelief Formation Using the Layered Photoresist Growth // Optics and Lasers in Engineering. 1998. №29. P. 281-285.
  22. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991. 528 с.
  23. Волков А.В., Казанский К.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А. Методы формирования дифракционного микрорельефа на основе послойного наращивания фоторезиста // Компьютерная оптика. 1996. № 16. С. 12-15.
  24. Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов: Пер. с англ. Под ред. Дж. Р. Брю- эра. М.: Радио и связь, 1984. 336 с.
  25. Вебер Э., Юрке Г. Высокопроизводительные сканирующие электронно-лучевые системы в технологии ИС // Электроника. Т.50. № 23.1977. С. 18-24.
  26. Duparre' М., Pavelyev V, S., Luedge В., Kley Е.-В.; Kowarschik К, Soifer V. А. Iterative calculation, manufacture and investigation of DOE forming unimodal complex distributions // Proceedings SPIE. 1997. Vol. 3110. P. 5-9.
  27. Duparre' M., Pavelyev V. S, Luedge В., Kley E.-B., Kowarschik R, Soifer V. A. Forming of selected unimodal complex amplitude distributions by means of novel DOEs of MODAN-type // Proceedings SPIE. Vol. 3134 "Optical Manufacturing and Testing II". H. Philip Stahl, ed.. 1997. P. 357-368.
  28. Бруй Е.Б., Корешев СН. Особенности использования тонких слоев фотоэмульсии ПЭ-2 для получения низкочастотных рельефных голографических структур // Оптика и спектроскопия. 1989. Т.67. В.З. С. 685-688.
  29. Корешев С.Н., Гиль СВ. О форме профиля низкочастотных голограммных структур, получаемых на тонких слоях фотоэмульсии ПЭ-2 // Оптика и спектроскопия. 1990. Т.68. №.2. 422 с.
  30. Гальперн А.Д., Смаев В.П., Селявко Л.В., Шелехов Н.С. Рельефно-фазовые голограммы на галоцдо-серебряных материалах и их копирование методом термополимеризации. // Высокоэффективные среды для записи голограмм. Сб. науч. тр. ЛФТИ. Д., 1988. С.100-107.
  31. Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Kharitonov S.I., Uspleniev G. V. Focusators for Laser-Dranding // Optics and Lasers in Engineering. № 15.1991. P. 24-32.
  32. Голуб A.M., Карпеев C.B., Мурзин С.П., Овчинников К.В., Соловьев B.C., Шинкарев М.В. Автоматизированная технология изготовления фокусаторов ИК диапазона // Оптическая запись и обработка информации: Сб. науч. тр. КуАИ. Куйбьппев, 1988. С. 14-18.
  33. Арефьев Е.Ю., Гилев В.А., Голуб М.А., Казанский И.Л, Карпеев СВ., Сисакян КН., Сойфер В.А., Соловьев B.C., Тихонов Д. К, Уваров Г В. Экспериментальное исследование плоского оптического элемента, фокусирующего в кольцо.// Компьютерная оптика. 5. М.: МЦНТИ, 1989. С. 49-54.
  34. А.С. №1624864. Способ изготовления рельефно-фазовых голограмм фокусирующих элементов / B.C. Соловьев, B.A. Сойфер, И.Н. Сисакян, Ю.Б. Бойко, В.М. Гранчак, И.И Дилунг.
  35. Карпеев С.В., Соловьев B.C. Методы получения рельефных изображений с непрерывным профилем // Компьютерная оптика. № 4. М.: МЦНТИ, 1989. С. 34-36.
  36. Соловьев B.C. Исследование поведения слоя жидкой фотополимеризующейся композиции во время рельефообразования // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1989. № 10-11. С. 21-24.
  37. Волков А.В., Волотовский С.Г, Гранчак В.М., Казанский К.Л, Моисеев О.Ю., Сойфер В.А., Соловьев В.С., Якуненкова Д.М. Экспериментальное исследование массопереноса в жидких фотополимеризующихся композициях // ЖТФ. Т.65. № 9. 1995. С. 181-185.
  38. Перло П, Синези С, Рипетто М., Успленьев Г. В. Использование круговой лазерной записьюающей системы для изготовления полутоновых шаблонов дифракционных оптических элементов на основе DLW glass пластинок // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1997, № 17. С.85-93.
  39. Корольков В.П, Малышев А.И., Никитин В.Г, Полещук А.Г, и др. Полутоновые фотошаблоны на основе DLW- стекол // Автометрия. 1998. № 6. С.27-37.
  40. Корольков В.П., Малышев А.К., Никитин В.Г., Полещук А.Г. и др. Изготовление высокоэффективных ДОЭ с помощью полутоновых фотошаблонов на основе DLW-стекол // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1998. № 18. С.121-126.

Statistics

Views

Abstract - 22

PDF (Russian) - 2

Cited-By


Refbacks

  • There are currently no refbacks.

Copyright (c) 1970 Samara State Technical University

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

This website uses cookies

You consent to our cookies if you continue to use our website.

About Cookies