Email this article Kinetika obrazovaniya i struktura ferroshpineley prigazofaznoy epitaksii
- Authors: Mitlina LA1, Molchanov VV1, Kostylov VN1
-
Affiliations:
- Issue: Vol 1, No 4 (1996)
- Pages: 138-145
- Section: Articles
- URL: https://journals.eco-vector.com/1991-8615/article/view/21171
- ID: 21171
Cite item
Full Text
Abstract
Приведены экспериментальные данные и теоретический анализ процесса формирования
эпитаксиального слоя на (001) плоскости оксида магния в зависимости от состава
и технологических условий. Показано, что особенности зарождения и роста
пленок феррошпинелей определяются характером межфазного взаимодействия на
границе пленка-подложка, несоответствием геометрических параметров решеток,
термодинамическими параметрами синтеза. Процесс кристаллизации феррошпинелей
удовлетворительно описывается в рамках вероятностно-феноменологической теории
роста. При небольших термодинамических пересыщениях разориентация блоков определяется,
в основном, несоответствием решеток феррита и оксида магния, составляет
десятки угловых минут, слабо зависит от условий кристаллизации; размеры блоков
в плоскости (001) определяются тангенциальной скоростью роста и временем синтеза.
эпитаксиального слоя на (001) плоскости оксида магния в зависимости от состава
и технологических условий. Показано, что особенности зарождения и роста
пленок феррошпинелей определяются характером межфазного взаимодействия на
границе пленка-подложка, несоответствием геометрических параметров решеток,
термодинамическими параметрами синтеза. Процесс кристаллизации феррошпинелей
удовлетворительно описывается в рамках вероятностно-феноменологической теории
роста. При небольших термодинамических пересыщениях разориентация блоков определяется,
в основном, несоответствием решеток феррита и оксида магния, составляет
десятки угловых минут, слабо зависит от условий кристаллизации; размеры блоков
в плоскости (001) определяются тангенциальной скоростью роста и временем синтеза.
References
- Aleksandrov L. N., Mitlina L. А., Molchanov V. V. Mechanism of epitaxial ferrite- spinel layers formation on magnesium oxide substrate//Cryst. Res. Technol. 1981. V. 16. №4. P. 405-412.
- Aleksandrov L. N., Mitlina L. A., Molchanov V. V., Vasilyev A. L. Heteroepitaxy of ferrite-spinel layers by CVD metod//Cryst. Res. Technol. 1983. V. 18. № 11. P. 1333-1339.
- Aleksandrov L. N., Mitlina L. A., Vasilyev A. L., Mikhailov V. A. Dislocation structure of epitaxial ferrite//spinel fiIms//Cryst. Res. Technol. 1986. V. 20. № 1 . P. 89-95.
- Митлина Л. A. Кинетика эпитаксиального роста феррошпинелей//Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1988. Т.24. №12. С. 290-293.
- Беленький В. 3. Геометрико-вероятностные модели кристаллизации. М.: Наука, 1980. 84 с.
- Трефилов В. И. Влияние коалесценции на кинетику роста тонкой пленки//Кристаллография. 1978. Т. 23. № 3. С. 605-607.
- Ощерин Б. Н. Модель разорванных связей и поверхностная энергия кристаллов полупроводников и их расплавов вблизи точки плавления//Химическая связь в кристаллах и их физические свойства. Минск: Наука и техника, 1976. Т. 1. С. 224-230.
- Сергеева Л. А. Поверхностная энергия и критические зародыши некоторых полупроводников $A^N B^{8-N}$// Синтез и рост совершенных кристаллов и пленок полупроводников. Новосибирск: Наука, 1981. С. 33-38.
- Бабкин Е. В. Наведенная магнитная анизотропия в эпитакснальных кристаллах феррита марганца: Автореф. дис. ...канд. физ.-мат. наук. Красноярск: ИФ СО АН СССР, 1980. 24 с.
- Садилов К. А. Монокристаллические пленки кобальтового феррита: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук. Куйбышев; Куйбыш. гос. пед. ин-т, 1974. 24 с.
- Александров Л. Н., Сидоров Ю. Г., Криворотое Е. А. Газотранспортная эпитаксия// Полупроводниковые пленки для микроэлектроники. Новосибирск: Наука, 1977. С. 58-105.
- Пинтус С. М., Стенин С. И., Торопов А. И., Труханов Е. М. Анализ морфологической стабильности тонких гетероэпитаксиальных пленок//Тез. докл. VII конф. по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок. Новосибирск, 1986. Ч. I. С. 34-35.
- Александров Л. Н. Эпитаксиальный рост полупроводниковых пленок//Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок. Новосибирск: Наука, 1972. С. 5-30.
- Агапова Н. Н., Митлина Л. А., Макаров А. В., Петрованова Л. М. Влияние условий синтеза на дефектность структуры пленок магний-марганцевой шпинели//Физика прочности и пластичности металлов и сплавов: Сб. науч. тр. Куйбышев: КуАИ, 1981. С. 105-111.
- Иевлев В. М., Трусов Л. И., Холмянский В. А. Структурные превращения в топких пленках. М.: Металлургия, 1982. 247 с.
- Косевич В. М., Иевлев В. М., И салатник Л. С, Федоренко А. И. Структура межкристаллитных и межфазных границ. М.: Металлургия, 1980. 256 с.
- Кондратенко В. В., Федоренко А. И., Филин А. В. О роли межфазного взаимодействия при эпитаксии металлов на щелочно-галлоидные подложки//Кристаллография. 1978. Т. 23. С. 588-594.
- Трусов Л. И., Холмянский В. А. Островковые металлические пленки М.: Металлургия, 1973. 321 с.
Supplementary files
