Application of photon emission microscopy for quality control and failure analysis of ICs

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

The article presents an overview of the physical mechanisms of photon generation in semiconductor structures, describes the main operating modes of PEM systems, and describes the method’s capabilities for localizing various types of defects. Practical examples of the method’s application in microelectronics development and production are provided.

About the authors

V. Plebanovich

ОАО «Планар»

Author for correspondence.
Email: Vpleba@planar.by

к.т.н.

Belarus, г. Минск

A. Suchkov

ГЦ «Белмикроанализ» НТЦ

Email: kys@electronics.ru
Belarus, г. Минск

V. Grishkevich

ОАО «Оптоэлектронные системы»

Email: marketing@optes.by
Belarus, г. Минск

V. Svetenkova

ОАО «Оптоэлектронные системы»

Email: marketing@optes.by
Belarus, г. Минск

References

  1. Теоретические основы явления: Microelectronics failure analysis (7th edition), Tejinder Gandhi (p 180) Photon emission in silicon based integrated circuits.
  2. Возможные причины фотонной эмиссии (на конкретном примере) и принцип фотонной-эмиссионной микроскопии: Труды НИИСИ РАН. Т. 3. №1. Анализ дефектов интегральных микросхем с помощью фотонно-эмиссионной микроскопии (Захарченко, Орешков, Троицкий). С. 67.
  3. Chim W.K., Chan D.S.H., Phang J.C.H. Semiconductor Device and Failure Analysis: Using Photon Emission Microscopy // Wiley. 2001. 304 p.
  4. Boit C., Schlangen R., Kerst U., Lundquest T. Physical Techniques for Chip-Backside IC Debug in Nanotechnologies // IEEE Design & Test of Computers. 2008. PP. 250–257.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2026 Plebanovich V., Suchkov A., Grishkevich V., Svetenkova V.

License URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/about/submissions