Izvestiya MGTU MAMIIzvestiya MGTU MAMIИзвестия МГТУ “МАМИ“2074-05302949-1428Moscow Polytechnic University7000810.17816/2074-0530-70008ArticlesСтатьиThe Films with Low Dielectric Permittivity on the Basis of Lyotropic Liquid CrystalsПлёнки с низкой диэлектрической проницаемостью на базе лиотропных жидких кристалловSoninA AСонинА А

MSTU MAMI

+7-495-223-05-23 доб. 13-64; МГТУ «МАМИ»

MSTU MAMIМГТУ «МАМИ»10012009200931NO1 (2009)ТОМ 1, №1 (2009)18519230042021Received:30042021Published:10012009Copyright ©; 2009, Sonin A.A.Copyright ©; 2009, Сонин А.А.2009Sonin A.A.Сонин А.А.https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0https://journals.eco-vector.com/2074-0530/article/view/70008

The possibility of preparation of solid porous films with low dielectric constant for use in nanoelectronics was demonstrated on example of the CTAB/TEOS/NaSal and CTAB/TEOS/TCS-2 novel precursor solutions. The dielectric constant and mechanical modules of these films were measured. The possibility of use of supercritical CO2 for improvement of the film characteristics was shown.

На примере оригинальных прекурсионных растворов ЦТАБ/ТЭОС/NaSal и ЦТАБ/ТЭОС/TCS-2 продемонстрирована возможность создания твёрдых пористых плёнок с низкой диэлектрической проницаемостью для применений в наноэлектронике. Измерены их диэлектрические проницаемости и механические модули. Показана возможность использования сверхкритического CO2 для улучшения характеристик этих плёнок.

dielectric constantinsulating gapelectric signal propagation velocitypercussion solutionhexamethyldisilazaneдиэлектрическая проницаемостьизоляционная прослойкаскорость распространения электрического сигналаперкуссионный растворгексаметилдисилазанK. Maex, M.R. Baklanov, D. Shamiryan, F. Iacopi, S.H. Brongersma, Z.S. Yanovitskaya, J. Appl. Phys., 2003, 93, 8793.C.T. Kresge, M.E. Leonowicz, W.J. Roth, J.C. Vartulli, J.S. Beck, Nature, 1992, 359, 710.H. Fan, S. Reed, T. Baer, R. Schunk, G.P. Lopez, C.J. Brinker, Microporous and Mesaporous Mater., 2001, 44-45, 625.C.J. Brinker, J.W. Scherer, Sol-Gel Science, Academic Press, Boston, 1990.Yu.M. Lvov, Handbook of Surfaces and Interfaces of Materials, v. 3: Nanostructured Materials, Micelles and Colloids, ed. H.S. Nalwa, Academic Press, New York, 2001. ch. 4. p. 1.U. Olsson, O. Söderman, P. Guéring, J. Phys. Chem., 1986, 90, 5223.K. Noble, A.B. Seddon, M.L. Turner, P. Chevalier, D.L. Ou, J. Sol-Gel Sci. and Technolol., 2001, 26, 419.А.А.Сонин, К.-Х. Ли, М.-Г. Ким, Д.-И. Ким, М.-В. Ким, Д.-Б. Сон, М.-Х. Янг, Х.-Д. Шин, Х.-Д. Джон, С.-И. Ким, К.-П. Ю, Жидкие кристаллы и их практическое использование, 2005, в. 3-4, 36.A.A. Sonin, J.-B. Seon, M.-H. Yang, H.-D. Jeong, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 451, 33.A.A. Sonin, J.-B. Seon, M.-H. Yang, H.-J. Shin, H.-D. Jeong, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 2006, 451, 99.A.A. Sonin, J.-B. Seon, M.-H. Yang, H.-J. Shin, H.-D. Jeong, S.-Y. Kim, K.-P. Yoo, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 2006, 460, 75.А.А.Сонин, Д.-Б. Сон, М.-Х. Янг, Х.-Д. Шин, Х.-Д. Джон, С.-И. Ким, К.-П. Ю, Жидкие кристаллы и их практическое использование, 2007, в. 2, 74.W.-J. Kim, S.-M. Yang, Langmuir, 2000, 16, 4761.W.-J. Kim, S.-M. Yang Kim, Adv. Mater, 2001, 13, 1191.Chen Z.-R., Kornfield J.A., Smith S.D., J.T. Grothaus, M.M. Satkowski, Science, 1997, 277,1248.S.H. Tolbert, A. Firouzi, G.D. Stucky, B.F. Chmelka, Science, 1997, 278, 264.A. Firouzi, D.J. Schaefer, S.H. Tolbert, G.D. Stucky, B.F. Chmelka, J. Amer. Chem. Soc., 1997, 119, 9466.T. Thurn-Albrecht, J. DeRouchey, T.P. Russell, H.M. Jaeger, Macromolecules, 2000, 33, 3250.T. Thurn-Albrecht, J. Schotter, G.A. Kästle, N. Emley, T. Shibauchi, L. Krusin-Elbaum, K. Gaurini, C.T. Black, M.T. Tuominen, T.P. Russell, Science, 2000, 290, 2126.A.A. Sonin, M.-G.. Kim, K.-H. Lee, J.-Y. Kim, H.-D. Jeong, M.-W. Kim, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 2006, 452, 25.