<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE root>
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/" article-type="research-article" dtd-version="1.2" xml:lang="en"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">Computational nanotechnology</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="en">Computational nanotechnology</journal-title><trans-title-group xml:lang="kk"><trans-title>Computational nanotechnology</trans-title></trans-title-group><trans-title-group xml:lang="pt"><trans-title>Computational nanotechnology</trans-title></trans-title-group><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Computational nanotechnology</trans-title></trans-title-group><trans-title-group xml:lang="zh"><trans-title>Computational nanotechnology</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn publication-format="print">2313-223X</issn><issn publication-format="electronic">2587-9693</issn><publisher><publisher-name xml:lang="en">YUR-VAK</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id pub-id-type="publisher-id">529838</article-id><article-id pub-id-type="doi">10.33693/2313-223X-2021-8-3-59-68</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="toc-heading" xml:lang="en"><subject>Articles</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="toc-heading" xml:lang="ru"><subject>Статьи</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="article-type"><subject>Research Article</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title xml:lang="en">Efficiency determination problems for SiC*/Si microstructures and contact formation</article-title><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Задачи определения эффективности для микроструктур SiC*/Si и контактообразования</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author"><name-alternatives><name xml:lang="en"><surname>Chepurnov</surname><given-names>Viktor I.</given-names></name><name xml:lang="ru"><surname>Чепурнов</surname><given-names>Виктор Иванович</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="en"><p>Cand. Sci. (Eng.); associate professor at the Department of Solid State Physics and Non-Equilibrium Systems</p></bio><bio xml:lang="ru"><p>кандидат технических наук; доцент кафедры физики твердого тела и неравновесных систем</p></bio><email>chvi44@yandex.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff1"/></contrib><contrib contrib-type="author"><name-alternatives><name xml:lang="en"><surname>Rajapov</surname><given-names>Sali A.</given-names></name><name xml:lang="ru"><surname>Раджапов</surname><given-names>Сали Аширович</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="en"><p>Dr. Sci. (Phys.-Math.); Chief Researcher at the Laboratory of Semiconductor High-sensitivity Sensors</p></bio><bio xml:lang="ru"><p>доктор физико-математических наук; главный научный сотрудник лаборатории полупроводниковых высокочувствительных датчиков</p></bio><email>rsafti@mail.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff2"/></contrib><contrib contrib-type="author"><name-alternatives><name xml:lang="en"><surname>Dolgopolov</surname><given-names>Mikhail V.</given-names></name><name xml:lang="ru"><surname>Долгополов</surname><given-names>Михаил Вячеславович</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="en"><p>Cand. Sci. (Phys.-Math.), Associate Professor; Head at the Joint Research Laboratory of Mathematical Physics NIL-319; associate professor at the Department of Higher Mathematics</p></bio><bio xml:lang="ru"><p>кандидат физико-математических наук, доцент; заведующий совместной с РАН научно-исследовательской лабораторией математической физики НИЛ-319; доцент кафедры высшей математики</p></bio><email>mikhaildolgopolov68@gmail.com</email><xref ref-type="aff" rid="aff1"/><xref ref-type="aff" rid="aff3"/></contrib><contrib contrib-type="author"><name-alternatives><name xml:lang="en"><surname>Puzyrnaya</surname><given-names>Galina V.</given-names></name><name xml:lang="ru"><surname>Пузырная</surname><given-names>Галина Владимировна</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="en"><p>engineer of the 1st category at the Department of Solid State Physics and Non-Equilibrium Systems</p></bio><bio xml:lang="ru"><p>инженер 1 категории кафедры физики твердого тела и неравновесных систем</p></bio><email>vaksa22@gmail.com</email><xref ref-type="aff" rid="aff1"/></contrib><contrib contrib-type="author"><name-alternatives><name xml:lang="en"><surname>Gurskaya</surname><given-names>Albina V.</given-names></name><name xml:lang="ru"><surname>Гурская</surname><given-names>Альбина Валентиновна</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="en"><p>Cand. Sci. (Phys.-Math.); associate professor at the Department of Higher Mathematics; senior researcher at the Interuniversity Research Center for Theoretical Materials Science</p></bio><bio xml:lang="ru"><p>кандидат физико-математических наук; доцент кафедры высшей математики; старший научный сотрудник</p></bio><email>a-gurska@yandex.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff3"/><xref ref-type="aff" rid="aff4"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff1"><aff><institution xml:lang="en">Samara National Research University named after Academician S.P. Korolev</institution></aff><aff><institution xml:lang="ru">Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff2"><aff><institution xml:lang="en">Institute of Physics and Technology of the Scientific and Production Association “Physics-Sun” of the Academy of Sciences of the Republic of Uzbekistan</institution></aff><aff><institution xml:lang="ru">Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff3"><aff><institution xml:lang="en">Samara State Technical University</institution></aff><aff><institution xml:lang="ru">Самарский государственный технический университет</institution></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff4"><aff><institution xml:lang="en">Interuniversity Research Center for Theoretical Materials Science</institution></aff><aff><institution xml:lang="ru">Межвузовский научно-исследовательский центр по теоретическому материаловедению</institution></aff></aff-alternatives><pub-date date-type="pub" iso-8601-date="2021-09-15" publication-format="electronic"><day>15</day><month>09</month><year>2021</year></pub-date><volume>8</volume><issue>3</issue><issue-title xml:lang="en">VOL 8, NO3 (2021)</issue-title><issue-title xml:lang="ru">ТОМ 8, №3 (2021)</issue-title><fpage>59</fpage><lpage>68</lpage><history><date date-type="received" iso-8601-date="2023-07-05"><day>05</day><month>07</month><year>2023</year></date></history><permissions><copyright-statement xml:lang="en">Copyright ©; 2021, Yur-VAK</copyright-statement><copyright-statement xml:lang="ru">Copyright ©; 2021, Юр-ВАК</copyright-statement><copyright-year>2021</copyright-year><copyright-holder xml:lang="en">Yur-VAK</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="ru">Юр-ВАК</copyright-holder><ali:free_to_read xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/"/><license><ali:license_ref xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/">https://journals.eco-vector.com/2313-223X/about/editorialPolicies</ali:license_ref></license></permissions><self-uri xlink:href="https://journals.eco-vector.com/2313-223X/article/view/529838">https://journals.eco-vector.com/2313-223X/article/view/529838</self-uri><abstract xml:lang="en"><p>The paper discusses the efficiency of converting radionuclide energy into electrical energy inside a semiconductor structure in the context of the betavoltaic application. In the molecular composition of Silicon Carbide semiconductor structures, Carbon-14 atoms functionally serve as the source of radiochemical decay energy, and the conductivity component of the n- or p-type semiconductor structure is able to directly convert this energy into electrical form. The proposed version of the beta-converter based on the C-14 radionuclide has a worldwide novelty, since this radionuclide is used in the concentration at the level of an alloying impurity that replaces the stable Carbon-12 atoms in the Silicon Carbide molecule. The presence in small quantities, one atom of the radioisotope C-14 per thousand or even a million atoms of the stable radioisotope C-12, gives the semiconductor material new energy-useful properties. The manifestations of the betavoltaic effect when replacing Silicon Carbide C-12 with radionuclide C-14 in a molecule determine the efficiency and choice of the contact formation options for practical use of charge generation in Silicon Carbide heterostructures.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="ru"><p>В работе обсуждается эффективность преобразования энергии радионуклидов в электрическую. В молекулярном составе полупроводниковых структур карбида кремния атомы углерода-14 функционально выполняют роль источника энергии радиохимического распада, а компонент разделения неравновесных носителей полупроводниковой структурой n- или p-типа проводимости способен напрямую преобразовывать эту энергию в электрическую форму. Предлагаемый вариант исполнения бета-преобразователя на радионуклиде С-14 обладает мировой новизной, так как данный радионуклид используется в концентрации на уровне легирующей примеси, замещающей атомы стабильного углерода-12 в молекуле карбида кремния. Присутствие в небольших количествах, один атом радиоизотопа С-14 на тысячу или даже миллион атомов устойчивого радиоизотопа С-12, придает полупроводниковому материалу новые полезные в энергетическом отношении свойства, но одновременно возникает сопутствующая проблема сбора носителей заряда металлизацией контактных площадок, что вероятно связано с изменением работы выхода электрона преобразованного радиоизотопом карбида кремния. Данный фактор определяет эффективность сбора носителей заряда, т.к. точечные прижимные контакты свидетельствуют об эффективности преобразования энергии.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="en"><kwd>Betavoltaics</kwd><kwd>Silicon Carbide heterostructeres</kwd><kwd>micro-alloying</kwd><kwd>radionuclide C-14</kwd><kwd>heteroendotaxy</kwd><kwd>defects formation</kwd><kwd>p-n-junction</kwd><kwd>energy efficiency</kwd></kwd-group><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>гетероструктуры карбида кремния</kwd><kwd>легирование</kwd><kwd>радиоуглерод</kwd><kwd>p-n-переход</kwd><kwd>бета-вольтаика</kwd><kwd>энергоэффективность</kwd><kwd>зарядовое точечное дефектообразование</kwd></kwd-group></article-meta></front><body></body><back><ref-list><ref id="B1"><label>1.</label><mixed-citation>Rappaport P. The electron-voltaic effect in p-n-junctions induced by beta-particle bombardment // Physical Review. 1954. Vol. 93 (1). Pp. 246-247.</mixed-citation></ref><ref id="B2"><label>2.</label><mixed-citation>Olsen L.C., Seeman S.E., Griffen B.I. Betavoltaic nuclear electric power sources // Trans. Electron Devices. 1969. Vol. 12. 481 p.</mixed-citation></ref><ref id="B3"><label>3.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Gusev V.V. et al. Features of the conversion of radioactive decay energy into electrical energy using silicon semiconductors with a p-n junction. Radiacionnaya tekhnika. 1975. No. 11. Pp. 61-67. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Гусев В.В. и др. Особенности преобразования энергии радиоактивного распада в электрическую с использованием кремниевых полупроводников с p-n-переходом // Радиационная техника. 1975. Вып. 11. С. 61-67.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B4"><label>4.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Lazarenko YU.V., Pustovalov A.A., Napovalov V.P. Small-sized nuclear power sources. Мoscow: Energoatomizdat, 1992.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Лазаренко Ю.В., Пустовалов А.А., Наповалов В.П. Малогабаритные ядерные источники электрической энергии. М.: Энергоатомиздат, 1992.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B5"><label>5.</label><mixed-citation>SityLabs [сайт]. URL: http://www.citylabs.net</mixed-citation></ref><ref id="B6"><label>6.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Patent of the Russian Federation RU No. 2461915 IPC.H01L 31/04 “Nuclear battery”.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Патент Российской Федерации RU N 2461915 МПК.H01L31/04 «Ядерная батарейка».</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B7"><label>7.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">RF Patent No. 2452060 IPC.H01L 31/04 G01H 1/00 “Semiconductor converter of beta radiation into electricity”.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Патент РФ № 2452060 МПК.H01L31/04 G01H 1/00 «Полупроводниковый преобразователь бета-излучения в электроэнергию».</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B8"><label>8.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Luchinin V., Tairov Yu. Domestic semiconductor silicon carbide: A step towards parity. Sovremennaya elektronika. 2009. No. 7. Pp. 12-15. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Лучинин В., Таиров Ю. Отечественный полупроводниковый карбид кремния: шаг к паритету // Современная электроника. 2009. № 7. С. 12-15.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B9"><label>9.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Krasnov A.A., Troshchiev S.Y. Synthetic diamond betavoltaic element design and electrical evaluation. Electronic engineering. Series 2: Semiconductor devices. 2016. No. 2 (241). Pp. 21-31. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Краснов А.А., Трощиев С.Ю. Разработка бета-вольтаического элемента на основе синтетического алмаза и оценка его электрических параметров // Электронная техника. Серия 2: Полупроводниковые приборы. 2016. Т. 2 (241). C. 21-31.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B10"><label>10.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Abanin I.E. Selection of active layers for a power supply device with p-n-junction excited by β-radiation. Nano- and microsystems technology. 2015. No. 10 (183). Pp. 3-10. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Абанин И.Е. Выбор активных слоев источника питания с р-n-переходом, возбуждаемым β-излучением // Нано- и микросистемная техника. 2015. № 10 (183). С. 3-10.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B11"><label>11.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Gorbatsevich A.A. et al. Analysis (simulation) of Ni-63 beta-voltaic cells based on silicon solar cells. Technical Physics. 2016. No. 61 (7). Pp. 1053-1059. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Горбацевич А.А. и др. Исследование (моделирование) Ni-63 бета-вольтаических батарей на основе кремниевых солнечных элементов // Журнал технической физики. 2016. Т. 86 (7). С. 94-99.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B12"><label>12.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Bulyarskiy S.V. et al. Optimization of the parameters of power sources excited by β-radiation. Semiconductors. 2017. No. 51 (1). Pp. 66-72. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Булярский С.В. и др. Оптимизация параметров источников питания, возбуждаемых β-излучением // Физика и техника полупроводников. 2017. Т. 51 (1). С. 68-74.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B13"><label>13.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Nagornov Y.S. The calculation of the efficiency of batteriesbased on microchannel silicon and Nickel-63 as a beta-source. Izvestiya vysshih uchebnyh zavedenij. Povolzhskij region. Fiziko-matematicheskie nauki. 2013. No. 3 (27). Pp. 136-145. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Нагорнов Ю.С. Расчет эффективности элементов питания на основе микроканального кремния и бета-источника никель-63 // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки. 2013. № 3 (27). C. 136-145.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B14"><label>14.</label><mixed-citation>Nagornov Y.S., Murashev V.N. Simulation of the β-voltaic effect in silicon pin structures irradiated with electrons from a Nickel-63 β source // Semiconductors. 2016. Vol. 50 (1). Pp. 16-21.</mixed-citation></ref><ref id="B15"><label>15.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Nagornov Y.S Modeling of betavoltaics elements on the Nickel-63 isotope. Ulyamovsk. 2015.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Нагорнов Ю.С. Моделирование элементов бета-вольтаики на изотопе никель-63. Ульяновск, 2015.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B16"><label>16.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Bulyarskiy S.V. et al. Open circuit voltage of the beta-cells based on silicon p-i-n diodes. Nano- and microsystems technology. 2016. No. 18 (6). Pp. 391-400. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Булярский С.В. и др. Напряжение холостого хода бета-батарей на основе кремниевых p-i-n-диодов // Нано- и микросистемная техника. 2016. Т. 18. № 6. С. 391-400.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B17"><label>17.</label><mixed-citation>Katz D., Akiyama T. Pacemaker longevity: The world’s longest-lasting VVI Pacemaker // Annals of Noninvasive Electrocardiology. 2017. Vol. 12 (3). Pp. 223-226.</mixed-citation></ref><ref id="B18"><label>18.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Akulshin Yu.D., Lurie M.S., Piatyshev E.N. et al. Beta-voltaic mems converter. St. Petersburg Polytechnical University Journal. Computer Science. Telecommunication and Control Sys. 2014. No. 5 (205). Pp. 35-42. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Акульшин Ю.Д. и др. Бета-вольтаический МЭМС-преобразователь энергии // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Информатика. Телекоммуникации. Управление. 2014. № 5 (205). С. 35-42.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B19"><label>19.</label><mixed-citation>Dreizler R., Gross E. Density functional theory. New York: Plenum Press, 1995.</mixed-citation></ref><ref id="B20"><label>20.</label><mixed-citation>Koch W., Holthausen M.C. A chemist’s guide to density functional theory. Weinheim: Wiley-VCH, 2002.</mixed-citation></ref><ref id="B21"><label>21.</label><mixed-citation>Jiang Z. et al. Ab initio calculation of SiC polytypes // Solid State Communications. 2002. Vol. 123 (6-7). Pp. 263-266.</mixed-citation></ref><ref id="B22"><label>22.</label><mixed-citation>Cicero G., Catellani A. Towards SiC surface functionalization: An ab initio study // J. Chem Phys. 2005. Vol. 122. P. 214716.</mixed-citation></ref><ref id="B23"><label>23.</label><mixed-citation>Jiang M. et al. Ab initio molecular dynamics simulation of the effects of stacking faults on the radiation response of 3C-SiC // Sci Rep. 2016. Vol. 6. P. 20669.</mixed-citation></ref><ref id="B24"><label>24.</label><mixed-citation>Zhou H. et al. Ab initio electronic transport study of two-dimensional silicon carbide-based p-n junctions // Journal of Semiconductors. 2017. Vol. 38 (3). P. 033002.</mixed-citation></ref><ref id="B25"><label>25.</label><mixed-citation>Ardakani Y.S., Moradi M. Electronic and optical properties of Te-doped GaN monolayer before and after adsorption of dimethylmercury - DFT+U/TDDFT &amp; DFT-D2 methods // Journal of Molecular Graphics and Modelling. 2021. Vol. 104. P. 107837.</mixed-citation></ref><ref id="B26"><label>26.</label><mixed-citation>Liu N., Wang W., Guo L. Superconductivity in nitrogen-doped 3C-SiC from first-principles calculations // Modern Physics Letters B. 2017. No. 31 (12). P. 1750116.</mixed-citation></ref><ref id="B27"><label>27.</label><mixed-citation>Poloni R. et al. Efficient first-principles method for structural studies of materials with substitutional disorder // Phys.: Condens. Matter. 2010. No. 22. P. 415401.</mixed-citation></ref><ref id="B28"><label>28.</label><mixed-citation>Yilun Gong, Grabowski B., Glensk A. et al. Temperature dependence of the Gibbs energy of vacancy formation of fcc Ni // Phys. Rev. B. No. 97. P. 214106.</mixed-citation></ref><ref id="B29"><label>29.</label><mixed-citation>Emery A., Wolverton C. High-throughput DFT calculations of formation energy, stability and oxygen vacancy formation energy of ABO3 perovskites // Sci Data. 2017. No. 4. P. 170153.</mixed-citation></ref><ref id="B30"><label>30.</label><mixed-citation>Grau-Crespo R. et al. Symmetry-adapted configurational modelling of fractional site occupancy in solids // Journal of Physics: Condensed Matter. 2007. No. 19 (25). P. 256201</mixed-citation></ref><ref id="B31"><label>31.</label><mixed-citation>Okhotnikov K., Charpentier T., Cadars S. Supercell program: A combinatorial structure-generation approach for the local-level modeling of atomic substitutions and partial occupancies in crystals // J. Cheminformatics. 2016. No. 8. P. 17.</mixed-citation></ref><ref id="B32"><label>32.</label><mixed-citation>Lee J., Seko A., Shitara K., Nakayama K., Tanaka I. Prediction model of band gap for inorganic compounds by combination of density functional theory calculations and machine learning techniques // Phys. Rev. B. No. 93. P. 115104.</mixed-citation></ref><ref id="B33"><label>33.</label><mixed-citation>Ferreño D. et al. Prediction of mechanical properties of rail pads under in-service conditions through machine learning algorithms // Advances in Engineering Software. 2021. Vol. 151. P. 102927.</mixed-citation></ref><ref id="B34"><label>34.</label><mixed-citation>Huang J.S., Liew J.X., Liew K.M. Data-driven machine learning approach for exploring and assessing mechanical properties of carbon nanotube-reinforced cement composites // Composite Structures. 2021. Vol. 267. P. 113917/</mixed-citation></ref><ref id="B35"><label>35.</label><mixed-citation>Jie Xiong et al. Machine learning of phases and mechanical properties in complex concentrated alloys // Journal of Materials Science &amp; Technology. 2021. Vol. 87. Pp. 133-142.</mixed-citation></ref><ref id="B36"><label>36.</label><mixed-citation>Prelas M. et al. Nuclear batteries and radioisotopes. Springer International Publishing, 2016. 335 p.</mixed-citation></ref><ref id="B37"><label>37.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Pokoeva V.A., Sivakova K.P. Features diffusion doping SiC/Si structures for semiconductor microwave sensors phosphorus and boron under the influence of the internal electric field. Physics of wave processes and radio systems. 2007. Vol. 10. No. 2. Pp. 110-114. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Покоева В.А., Сивакова К.П. Особенности диффузионного легирования структуры 81С/81 для полупроводниковых СВЧ - датчиков фосфором и бором под действием внутреннего электрического поля // Физика волновых процессов и радиотехнических систем. 2007. Т. 10. № 2. С. 110-114.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B38"><label>38.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Teitelbaum A.Z., Khodunov A.V. One-dimensional modeling of the processes of ion doping and diffusion redistribution of impurities in silicon. Elektronnaya promyshlennost. 1984. Vol. 9 (137). Pp. 41-45. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Тейтельбаум А.З., Ходунова А.В. Одномерное моделирование процессов ионного легирования и диффузионного перераспределения примесей в кремнии // Электронная промышленность. 1984. № 9. С. 41-45.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B39"><label>39.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Galanin N.P., Malkovich R.Sh. Mathematical modeling of diffusion of two charged impurities in the semiconductor with the internal electric field. FTP. 1995. Vol. 20. No. 5. Pp. 1451-1456. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Галанин Н.П., Малкович Р.Ш. Математическое моделирование диффузии двух заряженных примесей в полупроводнике с учетом внутреннего электрического поля // ФТП. 1995. Т. 20. № 5. С. 1451-1456.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B40"><label>40.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Gurskaya A.V., Chepurnov V.I., Latukhina N.V., Dolgopolov M.V. Method for obtaining a porous layer of Silicon Carbide heterostructure on a Silicon Substrate. Patent of the Russian Federation No. 2653398. Publ. 24.01.2018. Byul. No. 3.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Гурская А.В., Чепурнов В.И., Латухина Н.В., Долгополов М.В. Способ получения пористого слоя гетероструктуры карбида кремния на подложке кремния. Патент РФ № 2653398. Oпубл. 24.01.2018. Бюл. № 3.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B41"><label>41.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Dolgopolov M.V., Surnin O.L., Chepurnov V.I. Device for generating electric current by converting the energy of radiochemical beta decay of C-14. Patent of the Russian Federation No. 2714690. Publ. 19.02.2020. Byul. No. 5.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Долгополов М.В, Сурнин О.Л., Чепурнов В.И. Устройство генерирования электрического тока посредством преобразования энергии радиохимического бета-распада С-14. Патент РФ № 2714690. Опубл. 19.02.2020. Бюл. № 5.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B42"><label>42.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Surnin O.L., Chepurnov V.I. Silicon Carbide: The material for the radioisotope energy source. Patent for the invention 2733616 C2, 05.10.2020. Application No. 2020110496 dated 11.03.2020.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Сурнин О.Л., Чепурнов В.И. Карбид кремния: материал для радиоизотопного источника энергии. Патент на изобретение № 2733616 C2, Опубл. 05.10.2020. Заявка № 2020110496 от 11.03.2020.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B43"><label>43.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Gurskaya A.V., Dolgopolov M.V., Chepurnov V.I. C-14 beta converter. Phys. Part. Nuclei. 2017. No. 48. Pp. 941-944. (In Rus.) URL: https://doi.org/10.1134/S106377961706020X</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Гурская А.В., Долгополов М.В., Чепурнов В.И. 14C бета-преобразователь // Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2017. Т. 48. № 6. С. 901-909.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B44"><label>44.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Saurov A.N., Bulyarskiy S.V., Risovaniy V.D. et al. Nanostructured current sources excited by β-radiation based on carbon nanotubes. Proceedings of Universities. Electronics. 2015. Vol. 20. No. 5. Pp. 474-480. (In Rus.)</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Сауров А.Н., Булярский С.В., Рисованый В.Д. и др. Наноструктурированные источники тока, возбуждаемые β-излучением, на основе углеродных нанотрубок // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2015. Т. 20. № 5.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="B45"><label>45.</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="en">Imamov E.Z., Djalalov T.A., Muminov R.A., Rakhimov R.Kh. The difference between the contact structure with nanosize inclusions from the semiconductor photodiodes. Comp. nanotechnol. 2016. No. 3. Pp. 196-202.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="ru">Имамов Э.З., Джалалов Т.А., Муминов Р.А., Рахимов Р.Х. Отличительные особенности контактных структур с наноразмерными включениями полупроводниковых фотодиодов // Comp. nanotechnol. 2016. № 3. С. 196-202.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list></back></article>
