Microwave methods for measuring the electrical conductivity and thickness of materials and structures in a wide range of their values


Cite item

Full Text

Abstract

The results of measurements of parameters of materials and structures with utilization of microwave reflection spectra are presented. The possibility of the inverse problem solving to determine the thickness and electrical conductivity of nanometer metal films and semiconductor layers in multilayer structures in a wide range of their values has been shown. The problem of simultaneous determining both these parameters at the different temperatures has been solved.

References

  1. Методы определения параметров полупроводниковых пленок на СВЧ / Е.М. Гершензон [и др.]. В кн.: Полупроводниковые приборы и их применение / под ред. Е.А. Федотова. М.: 1970. Вып. 23. С. 3-48.
  2. Усанов Д.А. СВЧ-методы измерения параметров полупроводников. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1985. 55 с.
  3. Арапов Ю.Г., Давыдов А.Б. Волноводные методы измерения электрофизических параметров полупроводников на СВЧ // Дефектоскопия. 1978. № 11. С. 63-87.
  4. Афсар М.Н., Берч Дж. Р., Кларк Р.Н. Измерение характеристик материалов // ТИИЭР. 1986. Т. 74, № 1. С. 206-220.
  5. Grosse P. Freie elektronen in festkцrpern. Berlin: Springer-Verlag, 1979.
  6. Microwave measurements of thickness and conductivity of nanometer metal-semiconductor structures / A.V. Abramov [et al.] // Proc. of 35rd European Microwave Conference (Paris, France. 3-7th October 2005). 2005. Vol. 2. P. 509-512.
  7. Измерения толщины нанометровых слоев металла и электропроводности полупроводника в структурах металл-полупроводник по спектрам отражения и прохождения электромагнитного излучения / Д.А. Усанов [и др.] // ЖТФ. 2006. Т. 76. Вып. 5. С. 112-117.
  8. Радиоволновые и оптические измерения толщины и электропроводности металлических пленок на полупроводниковых и диэлектрических подложках / Ю.А. Чаплыгин [и др.] // Изв. вузов. Электроника. 2005. № 1. С. 68-77.
  9. Measurements of thickness of metal films in sandwich structures by the microwave reflection spectrum / D.A. Usanov [et al.] // Proc. of 36rd European Microwave Conference. Manchester, UK. 10-15th September. 2006. P. 921-924.
  10. Методика измерения электропроводности нанометровых металлических пленок в слоистых структурах по спектрам отражения электромагнитного излучения / Ю.А. Чаплыгин // Известия вузов. Электроника. 2006. № 6. С. 27-35.
  11. Изменение типа резонансного отражения электромагнитного излучения в структурах нанометровая металлическая пленка - диэлектрик / Д.А. Усанов [и др.] // Письма в ЖТФ. 2007. Т. 33. Вып. 2, С. 13-22.
  12. Измерение параметров нанометровых пленок оптическими и радиоволновыми методами / Д.А. Усанов [и др.] // Известия вузов. Электроника. 2010. № 3. С. 44-50.
  13. Неразрушающий контроль. В 5 кн. Кн. 4. Контроль излучениями: практ. пособие./ Б.Н. Епифанцев [и др.]. М.: Высш. шк., 1992. 321 с.
  14. Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий. Справочник в 2 кн. / под ред. В.В. Клюева; кн. 1. М.: Машиностроение, 1976. 391 с.
  15. Yablonovitch E. Inhibited spontaneous emission in solid-state physics and electronics // Phys. Rev. Lett. 1987. V. 58. № 20. P. 2059-2062.
  16. Duchamp J.M., Perrier A.L., Ferrari P. MS, CPW and Fin-line attenuators and dispersion effects on microwave and millimeter wave PBG structure parameters // Proc. of 34rd European Microwave Conference. Amsterdam, Netherlands. 12-14th October 2004. V. 2. P. 877-880.
  17. Tae-Yeoul, Kai Chang. Uniplanar one-dimensional photonic-bandgap structures and resonators // IEEE Transactions on microwave theory and techniques. 2001. V. 49. № 3. P. 549-553.
  18. Measurement of the metal nanometer layer parameters on dielectric substrates using photonic crystals based on the waveguide structures with controlled irregularity in the microwave band / D.A. Usanov [et al.] // Proc. of 37rd European Microwave Conference. Munich, Germany. 8-12th October 2007. P. 198-201.
  19. Использование волноводных фотонных структур для измерения параметров нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках / Д.А. Усанов [и др.] // Известия вузов. Электроника. 2007. № 6. С. 25-32.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2011 Usanov D.A., Nikitov S.A., Skripal A.V., Postelga A.E., Abramov A.V., Bogolubov A.S.

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

This website uses cookies

You consent to our cookies if you continue to use our website.

About Cookies