Отправить статью по E-mail Исследования возможности создания переменных емкостей на гибкой основе для систем дистанционного измерения давления
- Авторы: Терентьев А.А.1, Смирнов А.В.1
-
Учреждения:
- Чувашский государственный университет имени И.Н.Ульянова
- Выпуск: Том 17, № 2 (2024)
- Страницы: 106-112
- Раздел: Нанотехнологии
- URL: https://journals.eco-vector.com/1993-8578/article/view/640874
- DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.2.106.112
- ID: 640874
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Отработана технология напыления кремния, удалось получить прочную поликристаллическую пленку кремния, обладающую хорошей адгезией на подложке ПЭТ толщиной 150…200 нм. С помощью данной технологии был изготовлен опытный образец гибкой переменной емкости. Исследование изменения емкости от изменения воздействующего на него давления имеет линейный вид, что позволяет открывает возможность использования данной технологии для изготовления датчика давления.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
А. А. Терентьев
Чувашский государственный университет имени И.Н.Ульянова
Email: fizteh21@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0001-8571-2020
рук. лаб.
Россия, ЧебоксарыА. В. Смирнов
Чувашский государственный университет имени И.Н.Ульянова
Автор, ответственный за переписку.
Email: fizteh21@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0003-2424-8142
инж.
Россия, ЧебоксарыСписок литературы
- Sircar A., Kumar H. An introduction to flexible electronics: Manufacturing techniques, types and future. Journal of Physics Conference Series 1913(1):012047. https://doi.org/10.1088/1742-6596/1913/1/012047
- Park K.K., Khuri-Yakub B.T. et al., Fabrication of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers via Local Oxidation and Direct Wafer Bonding, Journal of Microelectromechanical Systems, 2011. Vol. 20. No. 1. PP. 95–103.
Дополнительные файлы
