Прецизионная подача жидких реагентов в технологическое оборудование на основе регулятора расхода жидкости
- Авторы: Сажнев С.В.1, Князев В.И.1
 - 
							Учреждения: 
							
- ООО "Элточприбор"
 
 - Выпуск: Том 18, № 2 (2025)
 - Страницы: 110-113
 - Раздел: Оборудование для наноиндустрии
 - URL: https://journals.eco-vector.com/1993-8578/article/view/678953
 - DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2025.18.2.110.113
 - ID: 678953
 
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Предложена конструкция регулятора расхода жидкости (РРЖ) для подачи жидких реагентов в технологическое оборудование с использованием датчика дифференциального давления. Представлены результаты испытаний РРЖ при регулировании потока жидкости. Показана возможность регулирования подачи жидкости в миллилитровом диапазоне с относительной погрешностью менее 3%.
Полный текст
Об авторах
С. В. Сажнев
ООО "Элточприбор"
							Автор, ответственный за переписку.
							Email: sazhnev@eltochpribor.ru
				                	ORCID iD: 0009-0009-8537-8291
				                																			                								
к.т.н., ген. дир.
Россия, ЗеленоградВ. И. Князев
ООО "Элточприбор"
														Email: sazhnev@eltochpribor.ru
				                	ORCID iD: 0009-0008-4848-2375
				                																			                								
к.ф.-м.н.
Россия, ЗеленоградСписок литературы
- Сажнев С.В., Князев В.И. Прецизионная подача газов в вакуумный реактор технологического оборудования с термокоррекцией внешней среды. Вакуумная наука и техника. Материалы ХХVII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов Крым – Москва, 2020. С. 123–128.
 - Кремлевский П.П. Расходомеры и счетчики количества: Справочник. 4-е изд., перераб. и доп. Л.: Машиностроение. Ленингр. отделение, 1989.
 - Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Гидродинамика. Теоретическая физика: Т. 7. 3-е изд., перераб. М.: Наука, 1986.
 
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
	1.
	JATS XML
			2.
			Рис.1. Устройство РРЖ. 1 – корпус РРЖ; 2, 3 – входной и выходной фитинги; 4, 5 – входная и выходная камеры датчика дифференциального давления; 6 – плата микроконтроллера; 7 – электромагнитный клапан; 8 – крышка корпуса РРЖ; 9, 10 – электрические разъемы; 11, 12 – капилляры; 13 – резиновый диск; 14 – датчик дифференциального давления
							
					
				
								
		
			Скачать (61KB)
		
		
				
			3.
			Рис.2. Схема испытаний РРЖ для жидкости. Газовый блок с выходным давлением 3,5 бар; регулятор давления мембранный; манометр давления газа; 1 – бак с деионизированной водой и наддувом сжатым воздухом; 2 – трубка пластиковая длиной 1 м и Ø6/4 мм; 3 – трубка пластиковая длиной 2 м и Ø6/4 мм; 4 – чаша для взвешивания жидкости; 5 – весы ВЛТЭ-510С; регулятор расхода жидкости – в режиме регулирования расхода жидкости
							
					
				
								
		
			Скачать (407KB)
		
		
				
		
			Скачать (104KB)
		
		
				
		
			Скачать (87KB)
		
		
				
		
			Скачать (92KB)
		
		
				
		
			Скачать (97KB)
		
		
	
				
			
						
					
									






