Информация об авторе
Новикова, О. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 17, № 6 (2024) | Оборудование для наноиндустрии | Оценка влияния толщины покрытия на величину остаточных механических напряжений в Al2O3/Si | |
| Том 18, № 2 (2025) | Нанотехнологии | Оценка влияния ионной обработки на величину остаточных механических напряжений в Al2O3/Si |