Синтез и исследование электропроводимости пленок меди, полученных методом восстановления оксида меди катодным распылением в атмосфере водорода для создания пленочных электродов переменных емкостей

Рассмотрена особенность синтеза пленок меди методом катодного распыления. Проведено их оксидирование и дальнейшее восстановление пленок оксида обратно до металлической фазы. Восстановление проводилось бомбардировкой атомами меди в атмосфере водорода. Такой способ получения металлических пленок меди дает лучшую электропроводимость. Измерены поверхностные удельные сопротивления четырехзондовым методом. Исследованы УФ-вид-спектры пропускания и поглощения. Предложены практические применения выявленным зависимостям.