Final polishing of the diamond plate in the developed mechanical holder with polishing quality control by scanning probe microscopes

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription or Fee Access

Abstract

A mechanical holder for polishing thin diamond plates has been developed, and determination of the smallest surface roughness of diamond plates at manual mechanical finishing polishing with imitation of quasi-plasticity mode has been carried out. Possibility of using SMM‑2000 microscope in express analysis during polishing process development has been confirmed.

About the authors

A. F. Kolesanov

ООО «Фрезарт»

Author for correspondence.
Email: journal@electronics.ru
Russian Federation

A. I. Laptev

НИТУ МИСИС

Email: journal@electronics.ru

доктор технических наук, главный научный сотрудник 

Russian Federation

B. A. Loginov

Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Email: journal@electronics.ru

начальник лаборатории 

Russian Federation

V. B. Loginov

АО «Завод ПРОТОН»

Email: journal@electronics.ru

ведущий конструктор 

Russian Federation

A. A. Pankratov

Email: journal@electronics.ru
Russian Federation

N. I. Polushin

НИТУ МИСИС

Email: journal@electronics.ru

кандидат технических наук, заведующий лабораторией 

Russian Federation

References

  1. Колесанов А. Ф. , Панкратов А. А. Отчет по полировке алмазных пластин с имитацией квазипластичного режима. Внутренний отчет Центра алмазных технологий и геммологии ГАПОУ КП 11 от 07 сентября 2020 г. С. 4.
  2. Теплова Т. Б. Прецизионная обработка поверхностного слоя твердых и сверхтвердых хрупких материалов в режиме квазипластичности. М.: ТЕХНОСФЕРА, 2023. 286 c.
  3. Копылов П. Г., Логинов Б. А., Исмагилов Р. Р., Образцов А. Н. Алмазные монокристаллические зонды для атомно-силовой микроскопии // Приборы и техника эксперимента. 2010. № 4. С. 156–162.
  4. Логинов Б. А., Логинов П. Б., Логинов В. Б., Логинов А. Б. Зондовая микроскопия: применения и рекомендации по разработке // НАНОИНДУСТРИЯ. 2019. Т. 12, № 6(92). C. 352–365.
  5. Loginov A. B., Fedotov P. V., Bokova-Sirosh S.N., Sapkov I. V., Chmelenin D. N., Ismagilov R. R., Obraztsova E. D., Loginov B. A., Obraztsov A. N. «Synthesis, Structural, and Photoluminescence Properties of MoS2 Nanowall Films», Physica Status Solidi (B): Basic Research, издательство John Wiley & Sons Ltd. (United Kingdom), 2022. P. 2200481.
  6. Поляков В. П., Ножкина А. В., Чириков Н. В. Алмазы и сверхтвердые материалы: учебное пособие для вузов. М.: Металлургия, 1990. С. 327.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
2. Fig. 1. External view of the clamp of the device for mechanical fastening of diamond plates during polishing

Download (1MB)
3. Fig. 2. Manual polishing of the plate using the original holder

Download (2MB)
4. Fig. 3. External appearance of the scanning probe microscope SMM-2000 during measurements

Download (2MB)
5. Fig. 4. Results of measuring the roughness of the diamond plate surface on the SMM-2000 scanning probe microscope: frame and height profile along the line drawn by the operator on the frame, according to which the average roughness Ra = 3.0 nm, the root-mean-square roughness Rq = 3.4 nm and the average transverse size of irregularities Sm = 982 nm were automatically calculated

Download (852KB)
6. Fig. 5. Results of measuring the roughness of the diamond plate surface on the scanning probe microscope MFP 3D Stand Alone

Download (3MB)
7. Fig. 6. Results of measuring the roughness of the diamond plate surface on the scanning probe microscope MFP 3D Stand Alone

Download (4MB)

Copyright (c) 2024 Kolesanov A.F., Laptev A.I., Loginov B.A., Loginov V.B., Pankratov A.A., Polushin N.I.