Финишная полировка пластины алмаза в разработанном механическом держателе с контролем качества полировки сканирующими зондовыми микроскопами

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Разработан механический держатель для полировки тонких алмазных пластин, проведено определение наименьшей шероховатости поверхности алмазных пластин при ручной механической финишной полировке с имитацией режима квазипластичности, подтверждена возможность использования микроскопа СММ-2000 в экспресс-анализе при отработке процесса полирования.

Об авторах

Андрей Федорович Колесанов

ООО «Фрезарт»

Автор, ответственный за переписку.
Email: journal@electronics.ru
Россия

Александр Иванович Лаптев

НИТУ МИСИС

Email: journal@electronics.ru

доктор технических наук, главный научный сотрудник 

Россия

Борис Альбертович Логинов

Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Email: journal@electronics.ru

начальник лаборатории 

Россия

Владимир Борисович Логинов

АО «Завод ПРОТОН»

Email: journal@electronics.ru

ведущий конструктор 

Россия

Алексей Алексеевич Панкратов

Email: journal@electronics.ru
Россия

Николай Иванович Полушин

НИТУ МИСИС

Email: journal@electronics.ru

кандидат технических наук, заведующий лабораторией 

Россия

Список литературы

  1. Колесанов А. Ф. , Панкратов А. А. Отчет по полировке алмазных пластин с имитацией квазипластичного режима. Внутренний отчет Центра алмазных технологий и геммологии ГАПОУ КП 11 от 07 сентября 2020 г. С. 4.
  2. Теплова Т. Б. Прецизионная обработка поверхностного слоя твердых и сверхтвердых хрупких материалов в режиме квазипластичности. М.: ТЕХНОСФЕРА, 2023. 286 c.
  3. Копылов П. Г., Логинов Б. А., Исмагилов Р. Р., Образцов А. Н. Алмазные монокристаллические зонды для атомно-силовой микроскопии // Приборы и техника эксперимента. 2010. № 4. С. 156–162.
  4. Логинов Б. А., Логинов П. Б., Логинов В. Б., Логинов А. Б. Зондовая микроскопия: применения и рекомендации по разработке // НАНОИНДУСТРИЯ. 2019. Т. 12, № 6(92). C. 352–365.
  5. Loginov A. B., Fedotov P. V., Bokova-Sirosh S.N., Sapkov I. V., Chmelenin D. N., Ismagilov R. R., Obraztsova E. D., Loginov B. A., Obraztsov A. N. «Synthesis, Structural, and Photoluminescence Properties of MoS2 Nanowall Films», Physica Status Solidi (B): Basic Research, издательство John Wiley & Sons Ltd. (United Kingdom), 2022. P. 2200481.
  6. Поляков В. П., Ножкина А. В., Чириков Н. В. Алмазы и сверхтвердые материалы: учебное пособие для вузов. М.: Металлургия, 1990. С. 327.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2. Рис. 1. Внешний вид зажима приспособления для механического крепления пластин алмаза при полировке

3. Рис. 2. Ручная полировка пластины с применением оригинального держателя

4. Рис. 3. Внешний вид сканирующего зондового микроскопа СММ-2000 в процессе измерений

5. Рис. 4. Результаты измерения шероховатости поверхности алмазной пластины на сканирующем зондовом микроскопе СММ-2000: кадр и профиль высот вдоль проведенной оператором линии на кадре, по которому автоматически вычислена средняя шероховатость Ra = 3,0 нм, среднеквадратичная шероховатость Rq = 3,4 нм и средний поперечный размер неровностей Sm = 982 нм

Скачать (852KB)
6. Рис. 5. Результаты измерения шероховатости поверхности алмазной пластины на сканирующем зондовом микроскопе MFP 3D Stand Аlone

7. Рис. 6. Результаты измерения шероховатости поверхности алмазной пластины на сканирующем зондовом микроскопе MFP 3D Stand Аlone


© Колесанов А.Ф., Лаптев А.И., Логинов Б.А., Логинов В.Б., Панкратов А.А., Полушин Н.И., 2024