Отправить статью по E-mail Создание микромеханических датчиков линейных ускорений и организация их серийного производства
- Авторы: Жукова С.А.1, Обижаев Д.Ю.1, Ульянов С.А.1, Зиновьев М.А.1, Рискин Д.Д.1, Суздальцев С.Ю.1, Фролов Е.Н.1, Ганцева Ю.А.1
-
Учреждения:
- ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
- Выпуск: Том 17, № 5 (2024)
- Страницы: 282-290
- Раздел: Оборудование для наноиндустрии
- URL: https://journals.eco-vector.com/1993-8578/article/view/635265
- DOI: https://doi.org/10.22184/993-8578.2024.17.5.282.290
- ID: 635265
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
В ФГУП "ЦНИИХМ" создана линейка микромеханических датчиков линейных ускорений. В состав линейки входят датчики трех исполнений ММА-2, ММА-10 и ММА-30 с диапазонами преобразования ±20 м/с², ±100 м/с² и ±300 м/с² соответственно. Датчики предназначены для использования в составе систем ориентации, стабилизации и навигации в составе различных изделий. Проведен полный комплекс испытаний, подтверждающий заявленные технические характеристики и стойкость к внешним воздействиям, а также утверждена рабочая конструкторская документация для организации серийного производства. Возможный объем производства датчиков составляет несколько тысяч штук в год.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
С. А. Жукова
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Автор, ответственный за переписку.
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0004-1566-8182
кандидат технических наук, зам. нач. центра по науч. работе
Россия, МоскваД. Ю. Обижаев
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0001-4437-558X
кандидат технических наук, нач. упр.
Россия, МоскваС. А. Ульянов
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0002-7308-6063
нач. НИЦ нанотехнологий
Россия, МоскваМ. А. Зиновьев
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0000-3322-317X
нач. лаборатории
Россия, МоскваД. Д. Рискин
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0006-6164-1284
ведущий инженер
Россия, МоскваС. Ю. Суздальцев
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0001-0224-619X
кандидат технических наук, начальник отделения – зам. нач. управления
Россия, МоскваЕ. Н. Фролов
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0002-1802-373X
кандидат технических наук, нач. лаборатории
Россия, МоскваЮ. А. Ганцева
ГНЦ РФ ФГУП "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики"
Email: szh17@yandex.ru
ORCID iD: 0009-0006-9899-4972
начальник лаборатории – зам. начальник отделения
Россия, МоскваСписок литературы
- US5006487A. Method of making an electrostatic silicon accelerometer. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. (US). H01L 21/302. 09.04.1991.
- US5551294A. Micromachined measuring cell with arm supported sensor. CSEM-Centre Suisse D’Electronique et de Microtechnique, Neuchatel (Switzerland). H01L 21/00. 27.01.1995.
- US5352918A Capacitive micro-sensor with a low stray capacity and manufacturing method. Sextant Avionique, Cedex, (France). H01L 29/84 H01L 29/96. 04.10.1994. 16.02.1993.
- EP0937985B1 A method of producing an acceleration sensor. Panasonic Holdings Corp. (JP) G01P 15/12. G01P 15/125. G01P 15/08. G01P 15/09. H01L 29/84. 07.09.1998.
- Marjoux D., Ullah P., Frantz-Rodriguez N., Morgado-Orsini P.F., Soursou M., Brisson R., Lenoir Y., Delhaye F. Silicon MEMS by Safran-Navigation grade accelerometer ready for mass production. In Proceedings of the 2020 DGON Inertial Sensors and Systems (ISS), Braunschweig, Germany, 15–16 September 2020.
- Способ изготовления упругого элемента микромеханического устройства/ RU2580910C1. Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт химии и механики" (ФГУП "ЦНИИХМ") (RU). H01L 21/308 10.04.2016.
- Микромеханический датчик линейных ускорений. ММА-2, ММА-10, ММА-30. Технические условия. ВШДИ.402131.002 ТУ, 84 с.
- Микромеханический датчик линейных ускорений. ММА-2, ММА-10, ММА-30. Руководство по эксплуатации. ВШДИ.402131.002 РЭ, 25 с.
Дополнительные файлы
