Опыт создания и внедрения в промышленность полных комплексных систем вакуумного оборудования (основанных на устройствах и элементах исключающих трение движения и предназначенных для работы в области микро и наноэлектроники и других высоких технологий)

Аннотация

Статья посвящена практике создания комплексов исполнительных и коммутационных устройств вакуумной технологической аппаратуры и содержит обзор, как наиболее распространенных, так и наиболее перспективных устройств, основанных на принципе управляемой упругой деформации.