Опыт создания и внедрения в промышленность полных комплексных систем вакуумного оборудования (основанных на устройствах и элементах исключающих трение движения и предназначенных для работы в области микро и наноэлектроники и других высоких технологий) - PDF (Русский)
© Васин В.А., 2008
![Creative Commons License](http://licensebuttons.net/l/by-nc-nd/4.0/88x31.png)
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.