Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В.В. Юдина
- Авторы: Утамурадова Ш.Б.1, Муминов Р.А.2, Дыскин В.Г.3, Тукфатуллин О.Ф.1
-
Учреждения:
- Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
- Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
- Институт материаловедения Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
- Выпуск: Том 9, № 4 (2022)
- Страницы: 11-16
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.eco-vector.com/2313-223X/article/view/529858
- DOI: https://doi.org/10.33693/2313-223X-2022-9-4-11-16
- ID: 529858
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Аннотация
Ионная имплантация является основой многих технологических процессов электроники и микроэлектроники. Основными величинами, характеризующими внедрение ионов в твердое тело, являются: длина пробега иона до полной его остановки, среднее значение проекции полного пробега на направление движения R̅p и среднее нормальное отклонение проекции пробега ΔR̅p. Для расчета этих величин созданы компьютерные программы SRIM, TRIM, DYNE, которые требуют инсталляции на персональный компьютер и занимают большой объем жесткого диска, что не всегда оправдано в инженерной практике. В данной работе описан алгоритм простой, не требующей инсталляции, программы для вычисления R̅p и ΔR̅p. Основой алгоритма программы является теория Линхарда-Шарфа-Шиота.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Шарифа Бекмурадовна Утамурадова
Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
Email: director@ispm.uz
доктор физикоматематических наук, профессор; директор Ташкент, Республика Узбекистан
Рамизулла Абдуллаевич Муминов
Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
Email: detector@uzsci.net
доктор физикоматематических наук, академик Академии наук Республики Узбекистан; заведующий лабораторией Ташкент, Республика Узбекистан
Валерий Григорьевич Дыскин
Институт материаловедения Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
Email: dyskin@uzsci.net
доктор философских наук; старший научный сотрудник Ташкент, Республика Узбекистан
Оскар Фаритович Тукфатуллин
Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
Email: oskar.tukfatullin@gmail.com
доктор философских наук; заведующий лабораторией Ташкент, Республика Узбекистан
Список литературы
- Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. Cambridge University Press, 1994. 293 p.
- Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников. М.: Мир, 1973. 296 с.
- Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. М.: Наука, 1983. 380 с.
- Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь. 1986. 231 с.
- Козлов В.А., Козловский В.В. Легирование полупроводников радиационными дефектами при облучении протонами и α-частицами // Физика и техника полупроводников. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 769-795.
- Степанов А.Л. Оптические свойства металлических наночастиц, синтезированных в полимере методом ионной имплантации (Обзор) // Журнал технической физики. 2004. Т. 74. Вып. 2. С. 1-12.
- Степанов А.Л., Трифонов А.А., Осин Ю.Н. и др. Новая технология формирования пористого кремния имплантацией ионами металла // Современные наукоемкие технологии. 2013. № 11. С. 119-123.
- Interactions of ions with matter. SRIM (The Stopping and Range of Ions in Matter) [Software]: Download SRIM-2013/Resource author and software developer J.F. Ziegler. [Electronic resource]. URL: http://www.srim.org/SRIM/SRIMLEGL.htm (data of accesses: 30.03.2022).
- Гиббонс Дж. Ионное внедрение в полупроводниках. Ч. I. Теория и экспериментальные исследования распределения пробегов // ТИИЭР. 1968. Т. 56. № 3. С. 60-85.
- Lindhard J., Scharff M., Schiott H.E. Range concepts and heavy ion ranges // Matematisk-fysiske Meddelelser udgivet af Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab. 1963. Vol. 33. No. 14. Pp. 1-43. (In English)
- Юдин В.В. Аналитический расчет пробегов с использованием аппроксимированной энергетической зависимости ядерного торможения // Доклады Академии наук СССР. 1972. Т. 207. № 2. С. 325-326.
- Examples for calculus & analysis. Knowledge base and set of computational algorithms [Electronic resource]. URL: http://www.wolframalpha.com/examples/mathematics/calculus-and-analysis (data of accesses: 30.03.2022).
- Форсайт Д., Мальком М., Моулер К. Машинные методы математических вычислений / пер. с англ. М.: Мир, 1980. 279 с.
- Шейкин Е.Г. Пробеги тяжелых ионов низких энергий в бериллии, боре, углероде и кремнии // Журнал технической физики. 1998. Т. 68. Вып. 9. С. 33-36.
- Kuzmin V. Range parameters of slow gold ions implanted into light targets // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2009. Vol. 267. No. 16. Pp. 2657-2661.
Дополнительные файлы
