Отправить статью по E-mail Исследование влияния параметров процесса ионно-лучевого осаждения на структуру и состав алмазоподобных пленок
- Авторы: Ерёмин С.А.1, Митрофанов Е.А.2, Кудряшов О.Ю.1, Аникин В.Н.3, Колесникова А.М.3, Левина В.В.4, Лукашин А.И.1
-
Учреждения:
- АО «ВНИИИнструмент»
- АО «ВНИИАлмаз»
- ФГБУ ВНИИТС
- НИТУ МИСиС
- Выпуск: № 1 (2023)
- Страницы: 48-51
- Раздел: ТЕХНОЛОГИИ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ
- URL: https://journals.eco-vector.com/2499-9407/article/view/628800
- DOI: https://doi.org/10.22184/2499-9407.2023.30.1.48.51
- ID: 628800
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
В работе проводили исследование по влиянию параметров ионно-лучевого осаждения, а также состава прекурсора на структуру образующейся углеродной пленки.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Сергей Александрович Ерёмин
АО «ВНИИИнструмент»
Автор, ответственный за переписку.
Email: magazine@technosphera.ru
кандидат технических наук, ведущий инженер
РоссияЕвгений Аркадьевич Митрофанов
АО «ВНИИАлмаз»
Email: magazine@technosphera.ru
кандидат технических наук, научный сотрудник
РоссияОлег Юрьевич Кудряшов
АО «ВНИИИнструмент»
Email: magazine@technosphera.ru
заведующий лабораторией
РоссияВячеслав Николаевич Аникин
ФГБУ ВНИИТС
Email: magazine@technosphera.ru
кандидат технических наук, заведующий научно-технологическим центром
РоссияАнастасия Михайловна Колесникова
ФГБУ ВНИИТС
Email: magazine@technosphera.ru
инженер
РоссияВера Васильевна Левина
НИТУ МИСиС
Email: magazine@technosphera.ru
доктор технических наук, профессор
РоссияАлексей Иванович Лукашин
АО «ВНИИИнструмент»
Email: magazine@technosphera.ru
начальник управления производства
РоссияСписок литературы
- Wang M., Zhang L. Improved mechanical and tribological properties of diamond-like carbon films by adjusting pulsed substrate bias. Diamond and Related Materials. 2022.Vol. 130. 109402.
- Li Z., Ma G., Xing Z. and et.al. The effects of Cr and B doping on the mechanical properties and tribological behavior of multi-layered hydrogenated diamond-like carbon films. 2022. Vol. 431. 127977.
- Khamseh S., Alibakhshi E., Mahdavian M. and et. al. Magnetron-sputtered copper/diamond-like carbon composite thin films with super anti-corrosion properties. Surface and Coatings Technology. 2018. Vol. 333. PP. 148–157.
- Toyonaga M., Hasebe T., Maegawa S. and et.al. The property of adhesion and biocompatibility of silicon and fluorine doped diamond-like carbon films. Diamond and Related Materials. 2021. Vol. 119. 108558.
- Wei C., Peng K., Hung M. The effect of hydrogen and acetylene mixing ratios on the surface, mechanical and biocompatible properties of diamond-like carbon films. Diamond and Related Materials. 2016. Vol. 63. PP. 108–114.
- Панфилов Ю. В. Алмазные и алмазоподобные покрытия. Вакуумная наука и техника. Материалы ХХVII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов под рук. д. т. н., профессора С. Б. Нестерова. М.: НОВЕЛЛА, 2020. С. 147–152.
- Алмазоподобные покрытия. ООО «Специальные покрытия», г. Екатеринбург, www.dic.ru.
- Bachmann S., Schulze M., Morasch J. and et.al. Aging of oxygen and hydrogen plasma discharge treated a-C : H and ta-C coatings. Applied Surface Science. 2016. Vol. 371. PP. 613–623.
- Лузанов В. А., Веденеев А. С. Алмазоподобные углеродные пленки, полученные методом высокочастотного диодного распыления // Радиотехника и электроника. 2018. Т. 63, № 9. С. 1007–1008.
- Структура, физико-механические и поверхностные свойства углеродных пленок, полученных с помощью PACVD технологии. Фундаментальные исследования. 2017. № 10 (ч. 1). С. 40–44.
- Новые упрочняющие покрытия для деревообрабатывающего инструмента // ЛесПромИнформ. 2016. № 6(120).
- Casiraghi C., Ferrari A., Robertson J. Raman spectroscopy of hydrogenated amorphous carbons // Physical Review B – Condensed Matter and Materials Physics. 2005. Vol. 72, No. 8. P. 805401 1–14.
- Wang C., Sui X., Lu X. and et.al. Friction and wear of a-C : H films deposited at different bias in air and NaCl solution. Tribology International. 2022. Vol. 175. 107863.
- Mobarak H. M., Masjuki H. H., Mohamad E. N. and et. al. Tribological properties of amorphous hydrogenated (a-C : H) and hydrogen-free tetrahedral (ta-C) diamond-like carbon coatings under jatropha biodegradable lubricating oil at different temperatures.Applied Surface Science. 2014. Vol. 317. PP. 581–592.
Дополнительные файлы
