МОДЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ СКОРОСТЬЮ ВЫТЯГИВАНИЯМОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ


Цитировать

Полный текст

Аннотация

Предложена математическая модель формирования скорости вытягивания на установке выращивания монокристаллов кремния по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс ввода программного задания скорости в микропроцессорную систему управления.

Об авторах

Сергей Павлович Саханский

Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева

Email: sahanskiv@yandex.ru <mailto:sahanskiv@yandex.ru>
доктор технических наук, доцент кафедры информационно-управляющих систем Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнева. Окончил завод-втуз - филиал Красноярского государственного политехнического института в 1977 г. Область научных интересов -комплексное решение задач автоматизации процессов выращивания монокристаллов германия, автоматизации процессов управления очисткой сточных вод промышленных предприятий; Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева

Марк Евгеньевич Якобсон

Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева

Email: sahanskiv@yandex.ru
студент кафедры информационно-управляющих систем Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнева. Область научных интересов - автоматизация технологических процессов и производств; Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева

S P Sakhanskiy

M E Yаkobson

Список литературы

  1. Лоусон У. Д., Нильсен С., Херл Д. Т. Процессы роста и выращивание монокристаллов : пер. с англ. / под ред. Н. Н. Шефталя. М. : Изд-во иностр. лит., 1963.
  2. Kumaragurubaran S., Subramanian C. Growth of paratellurite crystals: effect of axial temperaturte gradient on the quality of the crystals // Crystal Growth. 2000. Vol. 211. P. 276-280.
  3. Саханский С. П. Управление скоростью вытягивания на установке выращивания монокристаллов германия // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2008. № 4. C. 7-11.
  4. Саханский С. П. Управление процессом выращивания монокристаллов германия : монография / Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. Красноярск, 2008.
  5. Бабичев А. П., Бабушкина Н. А., Братковский А. М. Физические величины : справочник / под. ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мелихова. М. : Энергоатомиздат, 1991.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Саханский С.П., Якобсон М.Е., Sakhanskiy S.P., Yаkobson M.E., 2010

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах