Отправить статью по E-mail Микроэлектроника: развитие производственной базы, продажи оборудования и EUV-литография
- Авторы: Макушин М.1
-
Учреждения:
- НОБ «Военные науки и оборонная промышленность» БРЭ
- Выпуск: № 3 (224) (2023)
- Страницы: 116-129
- Раздел: Экономика+бизнес
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629360
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.224.3.116.129
- ID: 629360
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Расширение применения ИС и других полупроводниковых приборов как в традиционных для них областях, так и в новых сферах способствует увеличению спроса на эти изделия. В свою очередь это ведет к расширению производственной базы и увеличению закупок оборудования для производства с использованием и перспективных процессов с минимальными проектными нормами, и более зрелых процессов. В сфере производства перспективных ИС расширяется применение EUV-литографии, ведутся работы по совершенствованию данной технологии.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
М. Макушин
НОБ «Военные науки и оборонная промышленность» БРЭ
Автор, ответственный за переписку.
Email: redactor@electronics.ru
научный редактор
Список литературы
- Davis S. Global 200mm Semiconductor Fab Capacity Projected to Surge 20% to Record High by 2025, SEMI Reports // Semiconductor Digest, October 18, 2022.
- Davis S. Global 300mm Semiconductor Fab Capacity Projected To Reach New High in 2025, SEMI Reports // Semiconductor Digest, October 11, 2022.
- Davis S. Global Chip Industry Projected to Invest More Than $500 Billion in New Factories by 2024, SEMI Reports // Semiconductor Digest. December 12, 2022.
- Макушин М. Рынок технологического оборудования, проблемы EUV-литографии и перспективных методов корпусирования // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2022. № 5 (00216). С. 30–41.
- Davis S. Global Total Semiconductor Equipment Sales Forecast to Reach Record High in 2022, SEMI Reports // Semiconductor Digest/ December 13, 2022.
- Макушин М., Мартынов В. Производственные технологии микроэлектроники: проблемы развития. Часть 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2020. № 4 (00195). С. 76–88.
- Shannon Davis. Imec Ramps Up the Development of the High-NA EUV Patterning Ecosystem. Semiconductor Digest. April 26. 2022.
- Derbyshire K. New Challenges Emerge With High-NA EUV // Semiconductor Engineering, March 16th, 2023.
- Davis S. Applied Materials’ New eBeam Metrology System Paves the Way to High-NA EUV Lithography // Semiconductor Digest. March 7, 2023.
- Davis S. Applied Materials’ Pattern-Shaping Technology Reduces the Cost, Complexity and Environmental Impact of Advanced Chip Manufacturing // Semiconductor Digest. March 9, 2023.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 1. Количество и мощность заводов по обработке 200-мм пластин (начальные этапы обработки пластин, исключая обработку эпитаксиальных пластин)
Скачать (21KB)
3.
Рис. 2. Динамика роста мощности заводов по обработке 300-мм пластин (начальные этапы обработки пластин)
Скачать (22KB)
4.
Рис. 3. Прогноз структуры продаж полупроводникового оборудования
Скачать (20KB)
5.
Рис. 4. Прогноз структуры продаж оборудования заводов по обработке пластин с точки зрения их специализации
Скачать (19KB)
