电邮这篇文章 60 years in microelectronics
- 作者: Kovalevsky Y.
- 期: 编号 3 (234) (2024)
- 页面: 86-94
- 栏目: Report From A Company
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/631700
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.234.3.86.94
- ID: 631700
如何引用文章
开放存取
##reader.subscriptionAccessGranted##
详细
На этом сложный и длительный процесс кристального производства заканчивается.
Фото предоставлены ОАО «Интеграл»
全文:
补充文件
附件文件
动作
1.
JATS XML
2.
Andrei Buinevich
下载 (678KB)
3.
Silicon wafers in production
下载 (2MB)
4.
In the photolithography section
下载 (42KB)
5.
Photolithography, plasma chemical etching and appearance control area
下载 (1MB)
6.
Vacuum spraying machines
下载 (671KB)
7.
Photoresist stripping equipment
下载 (1MB)
8.
Measuring and control equipment
下载 (1MB)
9.
Final control
下载 (1MB)
