Отправить статью по E-mail МЭМС-переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов. Часть 2
- Авторы: Кочемасов В.1, Торина Е.1, Сафин А.2
-
Учреждения:
- ООО «Радиокомп»
- ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: № 5 (2024)
- Страницы: 86-96
- Раздел: СВЧ-электроника
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/634124
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.236.5.86.96
- ID: 634124
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках МЭМС-переключателей компании Analog Devices.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
В. Кочемасов
ООО «Радиокомп»
Автор, ответственный за переписку.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru
генеральный директор, кандидат технических наук
РоссияЕ. Торина
ООО «Радиокомп»
Email: drozdovaym@mpei.ru
кандидат технических наук, доктор физико-математических наук, доцент
РоссияА. Сафин
ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Email: asafin@gmail.com
ведущий научный сотрудник
РоссияСписок литературы
- Uvarov I.V. Migration of adhesive material in electrostatically actuated MEMS switch // Microelectronics Reliability. 2021. V. 125.
- https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html
- Carty E., Fitzgerald P., Mc Daid P. The Fundamentals of Analog Devices Revolutionary MEMS Switch Technology. Technical article. / analog.com. 4 p.
- Data sheet на переключатели ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 [https://www.analog.com/media/en/technical-documentation/data-sheets/adgm1001-1002-1003.pdf].
- Data sheet на переключатели ADGM1004 [https:// www.analog.com/media/en/technical-documentation/ data-sheets/adgm1004.pdf].
- Data sheet на переключатели ADGM1304 [https:// analog.com/media/en/technical-documentation/data-sheets/adgm1304.pdf].
- Data sheet на переключатели ADGM1144 [https:// www.analog.com/media/en/technical-documentation/ data-sheets/adgm1144.pdf].
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 12. Основные этапы изготовления МЭМС-переключателя Analog Devices: а – подложка из кремния с высоким сопротивлением; б – формирование диэлектрического слоя и соединений; в – формирования кантилевера с помощью микрообработки; г – корпусирование
Скачать (94KB)
3.
Рис. 13. Микросхема привода (слева) и матрица МЭМС-переключателя (справа), соединенные проводами с металлической выводной рамой
Скачать (408KB)
4.
Рис. 14. Функциональная схема переключателей ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003
Скачать (76KB)
5.
Рис. 15. Зависимости вносимых потерь изделий ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 от частоты при напряжении питания 3,3 В: а – для двух каналов при температуре окружающей среды 25 °С; б – для разных значений температуры
Скачать (188KB)
6.
Рис. 16. Зависимости вносимых потерь от входной мощности в изделиях ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 для разных значений частоты
Скачать (85KB)
7.
Рис. 17. Зависимости развязки между портами от частоты для обоих каналов при разных значениях температуры окружающей среды при напряжении питания 3,3 В: а – ADGM1001; б – ADGM1002
Скачать (161KB)
8.
Рис. 18. Зависимости уровня выходной мощности от уровня входной в изделиях ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 для разных значений частоты
Скачать (85KB)
9.
Рис. 19. Зависимости сопротивления включения от напряжения смещения в изделии ADGM1001: а – при разных значениях напряжения питания и температуре 25 °С; б – при разных значениях температуры и напряжении питания 3,3 В
Скачать (152KB)
10.
Рис. 20. Вероятность P появления изделий с одинаковым значением сопротивления включения для всей исследуемой партии изделий ADGM1001 при разном количестве циклов переключений: а – на частоте 1 Гц; б – на частоте 289 Гц (температура срабатывания ПК 85 °С, температура измерения сопротивления 25 °С)
Скачать (354KB)
11.
Рис. 21. Зависимость вероятности отказа образцов Pо в тестируемой партии изделий ADGM1001 от количества циклов переключений R при разных значениях мощности входного сигнала (температура 25 °С, напряжение питания 3,3 В)
Скачать (144KB)
12.
Рис. 22. Функциональные схемы SP4T-переключателей: а – ADGM1004; б – ADGM1144
Скачать (293KB)
13.
Рис. 23. Зависимости сопротивления включения от напряжения смещения в изделии ADGM1144: а – при разных напряжениях питания; б – при разных значениях температуры; в – при разных токах управления
Скачать (205KB)
14.
Рис. 24. Зависимость вероятности отказа образцов Pо от времени (дней непрерывной работы) для изделий ADGM1004 и ADGM1304
Скачать (46KB)
15.
Рис. 25. Число N переключателей ADGM1304, имеющих одинаковое вносимое ослабление при температурах окружающей среды 0 °С, 25 °С и 85 °С, на частотах: а – 2,5 ГГц; б – 6 ГГц
Скачать (182KB)
16.
Рис. 26. Зависимость вероятности отказа образцов Po от количества циклов переключений R при разных значениях мощности входного сигнала в тестируемой партии изделий: а – ADGM1004; б – ADGM1144 (температура окружающей среды 25°С, напряжение питания 3,3 В)
Скачать (229KB)
17.
Рис. 27. Вероятность появления в партии изделий ADGM1144, имеющих одинаковое значение сопротивления включения, для разного количества циклов переключений (частота переключения 289 Гц, напряжение питания 3,3 В)
Скачать (127KB)
18.
Рис. 28. Зависимости основных параметров от частоты в изделии ADGM1144 при напряжении питания 3,3 В: а – ослабления для разных входов при температуре 25 °С; б – ослабления для разных значений температуры; в – развязки для разных входов при температуре 25 °С; г – развязки для разных значений температуры
Скачать (360KB)
