Отправить статью по E-mail МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Часть 3
- Авторы: Кочемасов В.1, Торина Е.2, Сафин А.3
-
Учреждения:
- ООО «Радиокомп»
- НИУ «МЭИ»
- ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: № 6 (237) (2024)
- Страницы: 88-97
- Раздел: СВЧ-электроника
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/636245
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.237.6.88.97
- ID: 636245
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках МЭМС-переключателей компании Menlo Micro.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
В. Кочемасов
ООО «Радиокомп»
Автор, ответственный за переписку.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru
к.т.н., генеральный директор
РоссияЕ. Торина
НИУ «МЭИ»
Email: drozdovaym@mpei.ru
к.т.н., доцент
РоссияА. Сафин
ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Email: asafin@gmail.com
д.ф.-м-н., в.н.с.
РоссияСписок литературы
- Happich J. MEMS power switches to shrink thanks to through glass via packaging. // https://www.eenewseurope.com/en/mems-power-switches-to-shrink-thanks-to-through-glass-via-packaging/ [Электронный ресурс. Дата обращения 21.03.2024]
- Happich J. GE spins out MEMS startup: wants cheaper power switches // Electronic Engineering Times Europe. January 2017. PP. 12–13.
- Micro-mechanical switches for both power and 5G applications. www.Mwee.com, www.menlomicro.com, www.corning.com.
- Leitner J. RF MEMS Switch Performance in Extreme Environments. // Microwave Journal. 2021. No. 12. PP. 54–60.
- Data sheet на переключатели MM7100 [https://menlomicro.com/images/general/MM7100_Datasheet.pdf].
- Data sheet на переключатели MM1200 [https://menlomicro.com/images/general/MM1200_Datasheet.pdf].
- Data sheet на переключатели MM1300 [https://menlomicro.com/images/general/MM1300_Datasheet.pdf].
- Data sheet на переключатели MM5130 [https://menlomicro.com/images/general/MM5130_Datasheet.pdf].
- Data sheet на переключатели MM5120 [https://menlomicro.com/images/general/MM5120_Datasheet.pdf].
- Data sheet на переключатели MM5140 [https://menlomicro.com/images/general/MM5140_Datasheet.pdf].
- Data sheet на переключатели MM5600 [https://menlomicro.com/images/general/MM5600_Datasheet.pdf].
- Mirzajani H., Ilkhechi A.K., Zolfaghari P. et al. Power efficient, low loss and ultra-high isolation RF MEMS switch dedicated for antenna switch applications // Microelectronics Journal. 2017. V. 69. PP. 64–72.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 29. Зависимость величины зазора S от времени для контактов из золота и двух видов сплавов Menlo Micro: MM-0, MM-2. Температура окружающей среды 85 °C, давление окружающей среды 120 МПа
Скачать (208KB)
3.
Рис. 30. Структурные схемы многоканальных SPST-переключателей компании Menlo Micro: а – 5-канальный МЭМС-переключатель ММ7100; б – 6-канальные МЭМС-переключатели ММ1200 и ММ3100
Скачать (673KB)
4.
Рис. 31. Отладочные платы, разработанные компанией Menlo Micro для выпускаемых переключателей: а – ММ1200-EVK; б – MM3100EVK; в – MM5130EVK2
Скачать (1MB)
5.
Рис. 32. Зависимость максимальной входной мощности от частоты
Скачать (112KB)
6.
Рис. 33. Зависимость сопротивления включения изделия ММ3100 от температуры
Скачать (105KB)
7.
Рис. 34. Зависимость вероятности отказов Ро от количества циклов переключения в горячем режиме при разных значениях входной мощности
Скачать (374KB)
8.
Рис. 35. Эпюры напряжений: а – на затворе; б – входной радиочастотный сигнал
Скачать (148KB)
9.
Рис. 36. Структурные схемы SP4T МЭМС переключателей компании Menlo Micro: а – ММ5130; б – MM5120, MM5140
Скачать (504KB)
10.
Рис. 37. Зависимости развязки (а) и потерь (б) от частоты для разных портов изделия ММ5130 при температуре 25°С
Скачать (368KB)
11.
Рис. 38. Зависимость вносимых потерь в изделиях ММ5120 и ММ5130 от количества циклов переключения (при температуре окружающей среды 20°С и мощности входного сигнала 10 дБм)
Скачать (102KB)
12.
Рис. 39. Зависимости мощности гармонических составляющих сигнала от температуры окружающей среды на частоте 1 ГГц в изделии ММ5130: а – вторая гармоника; б – третья гармоника
Скачать (298KB)
13.
Рис. 40. Зависимость основных параметров изделия ММ5120 от частоты для разных каналов при температуре 25 °С: а – вносимые потери; б – возвратные потери; в – развязка
Скачать (520KB)
14.
Рис. 41. Зависимость основных параметров изделия ММ5120 от частоты для разных значений температуры: а – вносимые потери; б – возвратные потери; в – развязка
Скачать (579KB)
15.
Рис. 42. Зависимости вероятности отказа Ро для изделия ММ5120 при разных значениях температуры: а – от времени; б – от количества отработанных циклов
Скачать (643KB)
16.
Рис. 43. Структурная схема DPDT-переключателя ММ5600 компании Menlo Micro
Скачать (276KB)
17.
Рис. 44. Зависимость основных параметров изделия ММ5600 от частоты для разных каналов при температуре 25 °С: а – вносимые потери; б – возвратные потери; в – развязка
Скачать (759KB)
