Х Форум «Микроэлектроника‑2024»: достижения и перспективы фотоэлектроники Выпуск: Том 18, № 7 (2024) Страницы: 516-519 Раздел: Конференции, выставки, семинары URL: https://journals.eco-vector.com/1993-7296/article/view/642529 ID: 642529 Цитировать Полный текст Открытый доступ Доступ предоставлен Доступ платный или только для подписчиков (Russian) Аннотация Полный текст Список литературы Дополнительные файлы Статистика Полный текст Список литературы Дополнительные файлы Доп. файлы Действие 1. JATS XML Скачать 2. Рис. 1 Скачать (4MB) Метаданные 3. Рис. 2 Скачать (1MB) Метаданные 4. Рис. 3 Скачать (1MB) Метаданные 5. Рис. 4 Скачать (1MB) Метаданные