Исследование влияния концентрации лития на скорость диффузии в кристаллическом кремнии - PDF (Русский)


© Попов З.И., Федоров А.С., Кузубов А.А., Елисеева Н.С., 2013

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.