Active metamaterial on the base of integral nems-structures


Цитировать

Полный текст

Аннотация

The conception of integrated nanoelectromechanical systems (NEMS) formation method is considered. The method is based on original combination of self-organizing and self-aligning processes. The functionality of proposed NEMS-structures and possible applications of nanomaterial which constituted by two-dimensional array of such structures are discussed. The results of experiments directed to proposed NEMS-technology realization are led.

Об авторах

S V Khartov

Список литературы

  1. Nevolin, V . K. The probe nanotechnology in electronics / V. K. Nevolin. M. : Technosfera, 2006. (in Russian)
  2. Bobrinetskij, I. I. Development of the approaches to the bulk production of carbon nanotube based functional structures /I. I. Bobrinetskij, M. M. Simunin, S. V Khartov et al. // The thesis of the conf. "Actual problems of semiconductor microelectronics X STC". Taganrog. TRTU. 2006. Part 2. P. 6-8. (inRussian)

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Khartov S.V., 2009

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах