Информация об авторе
Саханский, Сергей Павлович
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 11, № 5 (2010) | Статьи | МОДЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ СКОРОСТЬЮ ВЫТЯГИВАНИЯМОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ |
(Rus) |
Том 11, № 3 (2010) | Статьи | Модель управления температурой при выращивании кремния |
(Rus) |
Том 20, № 4 (2019) | Раздел 3. Технологические процессы и материалы | Алгоритм контактного метода измерения текущей площади кристаллов, выращиваемых способом Чохральского |
(Eng) |