Отправить статью по E-mail Модель управления температурой при выращивании кремния
- Авторы: Саханский С.П.1, Баркин С.М.1
-
Учреждения:
- Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева
- Выпуск: Том 11, № 3 (2010)
- Страницы: 149-153
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.eco-vector.com/2712-8970/article/view/508637
- ID: 508637
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Предложена математическая модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов кремния по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс его ввода в микропроцессорную систему управления установкой
Ключевые слова
Об авторах
Сергей Павлович Саханский
Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева
Email: sahanskiy@yandex.ru <mailto:sahanskiy@yandex.ru>
доктор технических наук; Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева
Сергей Михайлович Баркин
Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева
Email: sahanskiy@yandex.ru <mailto:sahanskiy@yandex.ru>
Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева
Список литературы
- Разработка прибора прецизионного регулирования температуры с использованием светопровода : отчет Гиредметпо науч.-исслед. теме СКБРМ-1. М., 1962.
- СаханскийС. П. Управление температурой нагревателя на установке выращивания монокристаллов германия // Мехатроника. Автоматизация. Управление. 2008. № 1. С. А2-Л6.
- Саханский С. П. Управление процессом выращивания монокристаллов германия: моногр. / Сиб. гос. аэро-космич. ун-т. Красноярск, 2008.
- Бабичев А. П., Бабушкина Н. А, Братковский А. М. Физические величины: справ. / под. ред. И. С. Григорьева, Е. 3. Мелихова. М. : Энергоатомиздат, 1991.
Дополнительные файлы
