МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ В ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЯХ С УЧЕТОМ ПРОЦЕССА НАРАЩИВАНИЯ СЛОЕВ - PDF (Русский)
© Богданович В.И., Гиорбелидзе М.Г., Докукина И.А., Суркова Н.В., 2021

Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.