Отправить статью по E-mail Характеристики кремниевых кантилеверов для атомно-силовой микроскопии компании АО «Ангстрем»
- Авторы: Новак А.1, Соколов А.1, Ковалев В.1
-
Учреждения:
- АО «Ангстрем»
- Выпуск: № 2 (223) (2023)
- Страницы: 78-86
- Раздел: Микро- и наноструктуры
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629216
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.78.86
- ID: 629216
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Представлены результаты измерения основных параметров кремниевых кантилеверов производства АО «Ангстрем», предназначенных для работы в полуконтактном и контактном режимах атомно-силовой микроскопии (АСМ), а также АСМ-изображения различных образцов, полученные при помощи этих кантилеверов.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
А. Новак
АО «Ангстрем»
Автор, ответственный за переписку.
Email: Novak@angstrem.ru
к. т. н., руководитель лаборатории осаждения
РоссияА. Соколов
АО «Ангстрем»
Email: SokolovAM@angstrem.ru
инженер-технолог лаборатории осаждения
РоссияВ. Ковалев
АО «Ангстрем»
Email: Kovalev@angstrem.ru
руководитель группы физико-аналитических исследований
РоссияСписок литературы
- Binnig G., Quate C. F., Gerber Ch. Atomic Force Microscope // Physical Review Letters. 1986. V. 56. No. 9. PP. 930–933.
- Marti O., Drake B., Hansma P. K. Atomic Force Microscopy of Liquid-Covered Surfaces: Atomic Resolution Images // Applied Physics Letters. 1987. V. 51. No. 7. PP. 484–486.
- Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: ТЕХНОСФЕРА, 2013. 144 с.
- Иващенко Е. И., Цветков Ю. Б. Метод размерного стоп-травления кремния в производстве изделий микромеханики // Микросистемная техника. 2000. № 1. С. 16–20.
- Seidel H., Csepregi L., Heuberger A., Baumgärtel H. Anisotropic Etching of Crystalline Silicon in Alkaline Solutions I. Orientation Dependence and Behavior of Passivation Layers // Journal of The Electrochemical Society. 1990. V. 137. No. 11. PP. 3612–3626.
- Новак А. В., Новак В. Р. Исследование процесса электрохимического стоп-травления кремния при изготовлении кантилеверов // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2020. Т. 25. № 1. С. 31–39.
- Новак А. В., Новак В. Р., Румянцев А. В. Особенности процесса изготовления кремниевых игл для кантилеверов // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2021. Т. 26. № 3–4. С. 234–245.
- Brugger J., Buser R. A., de Rooij N. F. Silicon Cantilevers and Tips for Scanning Force Microscopy // Sensors and Actuators A: Physical. 1992. V. 34. No. 3. PP. 193–200.
- Wolter O., Bayer Th., and Greschner J. Micromachined silicon sensors for scanning force microscopy // Journal of Vacuum Science & Technology B. 1991. V. 9. No. 2. PP. 1353–1357.
- ISO 25178-2:2021 Geometrical product specifications (GPS) – Surface Texture: Areal – Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters.
- ASME B46.1-2009 Surface Texture (Surface Roughness, Waviness, and Lay), American national standard.
- Blunt L., Jiang X. Advanced Techniques for Assessment Surface Topography: Development of a Basis for 3D Surface Texture Standards “Surfstand” // London: Kogan Page Science, 2003.
- Новак А. В., Новак В. Р. Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 19. С. 32–40.
- Новак А. В., Новак В. Р. Оценка влияния размеров зонда на параметры морфологии поверхности пленок кремния с полусферическими зернами, получаемые методом атомно-силовой микроскопии // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2016. № 9. С. 70–80.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 1. РЭМ-изображения кремниевой иглы кантилевера: а – вид сверху; б – вид сбоку; в – увеличенный фрагмент, показывающий острие иглы
Скачать (17KB)
3.
Рис. 2. РЭМ-изображения консолей различных моделей кантилеверов: а – NSG10 / Al / AM; б – NSG01 / Al / AM; в – CSG10 / Al / AM; г – CSG01 / Al / AM
Скачать (24KB)
4.
Рис. 3. Типичные амплитудно-частотные характеристики для некоторых моделей кантилеверов: а – NSG01 / Al / AM; б – NSG03 / Al / AM; в – NSG10 / Al / AM; г – NSG30 / Al / AM; д – CSG10 / Al / AM; е – CSG01 / Al / AM; ж – CSG30/Al/AM
Скачать (8MB)
5.
Рис. 4. РЭМ-изображения HSG-Si-пленки с сильноразвитым рельефом
Скачать (23KB)
6.
Рис. 5. Трехмерное АСМ-изображение HSG-Si-пленки размером 500 × 500 нм2
Скачать (15KB)
7.
Рис. 6. Топографическое АСМ-изображение HSG-Si-пленки (а) и профиль участка АСМ-изображения между зернами (б)
Скачать (20KB)
8.
Рис. 7. АСМ-изображения слоя TiO2, измеренные кантилеверами АО «Ангстрем»: а – топографическое; б – трехмерное
Скачать (38KB)
9.
Рис. 8. АСМ-изображения калибровочной решетки TGZ1, измеренные кантилеверами АО «Ангстрем»: а – топографическое; б – трехмерное
Скачать (34KB)
10.
Рис. 9. АСМ-изображения калибровочной решетки TGT1, измеренные кантилеверами АО «Ангстрем»: а – топографическое; б – трехмерное
Скачать (31KB)
11.
Рис. 10. Топографическое АСМ-изображение (а, в) и распределение силы тока (б, г) для участка микросхемы, полученные при помощи кантилевера CSG10 / Al / AM со слоем золота Au на лицевой стороне кантилевера
Скачать (66KB)
