Every atom counts: the use of high-purity gases in the microelectronics industry

S. Dubyaga; Дубяга С.; I. Kozyrev; Козырев И.

doi:10.22184/1992-4178.2024.238.7.190.191

Every atom counts: the use of high-purity gases in the microelectronics industry

Авторлар: Dubyaga S.¹, Kozyrev I.¹
Мекемелер:
1. ООО «Фирма «ХОРСТ»
Шығарылым: № 7 (2024)
Беттер: 190-191
Бөлім: Manufacturing equipment and process materials
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/636204
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.238.7.190.191
ID: 636204

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Рұқсат ақылы немесе тек жазылушылар үшін

Аннотация
Толық мәтін
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

HORST LLC is the main supplier of high-purity gases for the microelectronics industry of Russia and Belarus, having its own production facilities. The article discusses the features of technologies for the production and deep purification of gases used in the production of semiconductor materials.