Every atom counts: the use of high-purity gases in the microelectronics industry

S. Dubyaga; Дубяга С.; I. Kozyrev; Козырев И.

doi:10.22184/1992-4178.2024.238.7.190.191

Важен каждый атом: применение высокочистых газов в микроэлектронной промышленности

Авторы: Дубяга С.¹, Козырев И.¹
Учреждения:
1. ООО «Фирма «ХОРСТ»
Выпуск: № 7 (2024)
Страницы: 190-191
Раздел: Технологическое оборудование и материалы
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/636204
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.238.7.190.191
ID: 636204

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

ООО «Фирма «ХОРСТ» является основным поставщиком высокочистой газовой продукции для микроэлектронной промышленности России и Беларуси, располагая собственными производственными мощностями. В статье рассмотрены особенности технологий получения и глубокой очистки газов, применяемых в производстве полупроводниковых материалов.