Отправить статью по E-mail 60 лет в микроэлектронике
- Авторы: Ковалевский Ю.
- Выпуск: № 3 (234) (2024)
- Страницы: 86-94
- Раздел: Репортаж с предприятия
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/631700
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.234.3.86.94
- ID: 631700
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
На этом сложный и длительный процесс кристального производства заканчивается.
Фото предоставлены ОАО «Интеграл»
Полный текст
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Андрей Буйневич
Скачать (678KB)
3.
Кремниевые пластины на производстве
Скачать (2MB)
4.
На участке фотолитографии
Скачать (42KB)
5.
Участок фотолитографии, плазмохимического травления и контроля внешнего вида
Скачать (1MB)
6.
Установки вакуумного напыления
Скачать (671KB)
7.
Оборудование снятия фоторезиста
Скачать (1MB)
8.
Контрольно-измерительное оборудование
Скачать (1MB)
9.
Финальный контроль
Скачать (1MB)
