The shortage of special quartz glass fixture for planar technology in the production of microelectronics will be overcome

P. Elisov; Елисов П.

doi:10.22184/1992-4178.2024.239.8.102.106

Дефицит спецоснастки из кварцевого стекла для планарной технологии в производстве микроэлектроники будет преодолен

Авторы: Елисов П.¹
Учреждения:
1. АО «Технологии кварцевых кристаллов»
Выпуск: № 8 (2024)
Страницы: 102-106
Раздел: Технологическое оборудование и материалы
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/632450
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.239.8.102.106
ID: 632450

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

АО «Технологии кварцевых кристаллов» запускает завод по производству оснастки из кварцевого стекла для диффузионных и эпитаксиальных процессов. Это будет самая современная в странах БРИКС фабрика по производству изделий из кварцевого стекла, которая позволит российской микроэлектронной отрасли выйти на новый уровень.