Отправить статью по E-mail МЭМС-переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов. Часть 1
- Авторы: Кочемасов В.1, Торина Е.2, Сафин А.3
-
Учреждения:
- ООО «Радиокомп»
- НИУ «МЭИ»
- ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: № 4 (235) (2024)
- Страницы: 76-84
- Раздел: СВЧ-электроника
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/633157
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.235.4.76.84
- ID: 633157
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках различных типов таких устройств, выпускаемых рядом производителей.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
В. Кочемасов
ООО «Радиокомп»
Автор, ответственный за переписку.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru
к.т.н., генеральный директор
РоссияЕ. Торина
НИУ «МЭИ»
Email: drozdovaym@mpei.ru
к.т.н., доцент
РоссияА. Сафин
ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Email: asafin@gmail.com
д.ф.-м-н., в.н.с.
РоссияСписок литературы
- Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных системных задач // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2009. №. 7. С. 80–89.
- Шурыгина В. Долгожданные МЭМС. Технология малых форм // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2002. №. 4. С. 8–13.
- Кочемасов В. Электромеханические переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов – основные типы и производители // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. №7. С. 114–121, № 8. С. 96–106, №9. С. 128–134.
- https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- Кочемасов В., Майстренко А. СВЧ-переключатели на основе МЭМС // СВЧ-электроника. 2016. № 1. С. 36–42.
- https://www.radiocomp.ru/joom/images/storage/docs/broshure/RadantMems2012.pdf [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- Rebeiz G.M., Patel C.D., Han S.K. et al. The search for a reliable MEMS switch // IEEE microwave magazine. 2013. V. 14. No. 1. PP. 57–67.
- Iannacci J. RF-MEMS technology for high-performance passives. Chapter 1 // IOP Publishing, 2017. 39 p.
- Шурыгина В. Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик. Части 1, 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2014. № 2, 3.
- Rebeiz G.M., Muldavin J.B. RF MEMS switches and switch circuits // IEEE Microwave magazine. 2001. V. 2. No. 4. PP. 59–71.
- Шурыгина В. В поисках стандартов МЭМС. Фермеры против ковбоев // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 3. С. 119–126.
- https://www.tronics.tdk.com [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- https://www.delfmems.com/press_release/delfmems-announces-its-breakthrough-sp12t-rf-mems-ohmic-switch-has-passed-one-billion/ [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- Maciel J. J., Lampen J. L., Taylor E. W. Gamma-ray irradiation of ohmic MEMS switches // Nanophotonics and Macrophotonics for Space Environments VI. SPIE. 2012. V. 8519. PP. 2–10.
- The most Reliable MEMS Switches Devices in the World. RF MEMS Switches and Product Catalog, 2013, PP. 1–59.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 1. Пример трансивера, поддерживающего разные диапазоны частот
Скачать (218KB)
3.
Рис. 2. Упрощенное изображение МЭМС-переключателя с емкостным (а) и резистивным (б) контактами
Скачать (106KB)
4.
Рис. 3. Электромеханический привод мембранного типа компании DelfMEMS
Скачать (54KB)
5.
Рис. 4. Вносимые потери в МЭМС ПК SP12T компании DelfMEMS и ПППК
Скачать (121KB)
6.
Рис. 5. Интермодуляционные продукты третьего порядка в ПППК и МЭМС ПК
Скачать (62KB)
7.
Рис. 6. Варианты корпусирования изделий компании Radant MEMS: а – RMSW101 (SPST); б – RMSW220HP (SPDT); в – RMSW240 (SP4T); г – RMSW260 (SP6T); д – изделия а – г, выпущенные в QFN-корпусах
Скачать (353KB)
8.
Рис. 7. Упрощенная структура консольного МЭМС-переключателя с электростатическим приводом: а – переключатель разомкнут; б – переключатель замкнут
Скачать (68KB)
9.
Рис. 8. Упрощенные обозначения переключателей: а – SPST; б – SPDT; в – SP4T; г – SP6T
Скачать (122KB)
10.
Рис. 9. Отладочные платы для МЭМС-переключателей: а – SPST RMSW100HP/RMSW200HP; б – SPDT RMSW221; в – SP4T RMSW240; г – SP6T RMSW260
Скачать (828KB)
11.
Рис. 10. Вносимые потери IL(f); развязка между каналами Iso(f) и возвратные потери RL(f) для SP6T-переключателя RMSW60 в составе отладочной платы RMSW260-EV12
Скачать (158KB)
12.
Рис. 11. Зависимости вносимого ослабления от частоты до и после воздействия радиации
Скачать (101KB)
