MEMS RF / microwave switches. Part 1

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription or Fee Access

Abstract

The article considers MEMS RF / microwave switches. Information is provided on the features and characteristics of various types of such devices produced by a number of manufacturers.

Full Text

Restricted Access

About the authors

V. Kochemasov

ООО «Радиокомп»

Author for correspondence.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru

к.т.н., генеральный директор

Russian Federation

E. Torina

НИУ «МЭИ»

Email: drozdovaym@mpei.ru

к.т.н., доцент

Russian Federation

A. Safin

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Email: asafin@gmail.com

д.ф.-м-н., в.н.с.

Russian Federation

References

  1. Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных системных задач // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2009. №. 7. С. 80–89.
  2. Шурыгина В. Долгожданные МЭМС. Технология малых форм // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2002. №. 4. С. 8–13.
  3. Кочемасов В. Электромеханические переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов – основные типы и производители // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. №7. С. 114–121, № 8. С. 96–106, №9. С. 128–134.
  4. https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  5. Кочемасов В., Майстренко А. СВЧ-переключатели на основе МЭМС // СВЧ-электроника. 2016. № 1. С. 36–42.
  6. https://www.radiocomp.ru/joom/images/storage/docs/broshure/RadantMems2012.pdf [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  7. Rebeiz G.M., Patel C.D., Han S.K. et al. The search for a reliable MEMS switch // IEEE microwave magazine. 2013. V. 14. No. 1. PP. 57–67.
  8. Iannacci J. RF-MEMS technology for high-performance passives. Chapter 1 // IOP Publishing, 2017. 39 p.
  9. Шурыгина В. Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик. Части 1, 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2014. № 2, 3.
  10. Rebeiz G.M., Muldavin J.B. RF MEMS switches and switch circuits // IEEE Microwave magazine. 2001. V. 2. No. 4. PP. 59–71.
  11. Шурыгина В. В поисках стандартов МЭМС. Фермеры против ковбоев // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 3. С. 119–126.
  12. https://www.tronics.tdk.com [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  13. https://www.delfmems.com/press_release/delfmems-announces-its-breakthrough-sp12t-rf-mems-ohmic-switch-has-passed-one-billion/ [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  14. Maciel J. J., Lampen J. L., Taylor E. W. Gamma-ray irradiation of ohmic MEMS switches // Nanophotonics and Macrophotonics for Space Environments VI. SPIE. 2012. V. 8519. PP. 2–10.
  15. The most Reliable MEMS Switches Devices in the World. RF MEMS Switches and Product Catalog, 2013, PP. 1–59.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download
2. Fig. 1. Example of a transceiver supporting different frequency ranges

Download (218KB)
Indexing metadata
3. Fig. 2. Simplified image of a MEMS switch with capacitive (a) and resistive (b) contacts

Download (106KB)
Indexing metadata
4. Fig. 3. DelfMEMS electromechanical diaphragm type actuator

Download (54KB)
Indexing metadata
5. Fig. 4. Insertion losses in DelfMEMS SP12T MEMS PCs and PPPPKs

Download (121KB)
Indexing metadata
6. Fig. 5. Third-order intermodulation products in PPPPK and MEMS PCs

Download (62KB)
Indexing metadata
7. Fig. 6. Housing variants of Radant MEMS products: a - RMSW101 (SPST); b - RMSW220HP (SPDT); c - RMSW240 (SP4T); d - RMSW260 (SP6T); e - products a - d, produced in QFN-cases.

Download (353KB)
Indexing metadata
8. Fig. 7. Simplified structure of a cantilever MEMS switch with electrostatic actuator: a - switch open; b - switch closed

Download (68KB)
Indexing metadata
9. Fig. 8. Simplified designations of switches: a - SPST; b - SPDT; c - SP4T; d - SP6T

Download (122KB)
Indexing metadata
10. Fig. 9. Debugging boards for MEMS switches: a - SPST RMSW100HP/RMSW200HP; b - SPDT RMSW221; c - SP4T RMSW240; d - SP6T RMSW260.

Download (828KB)
Indexing metadata
11. Fig. 10. Insertion loss IL(f); channel-to-channel decoupling Iso(f) and return loss RL(f) for the SP6T switch RMSW60 as part of the RMSW260-EV12 debug board

Download (158KB)
Indexing metadata
12. Fig. 11. Dependences of insertion attenuation on frequency before and after radiation exposure

Download (101KB)
Indexing metadata

Copyright (c) 2024 Kochemasov V., Torina E., Safin A.