МЭМС-переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов. Часть 1

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках различных типов таких устройств, выпускаемых рядом производителей.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. Кочемасов

ООО «Радиокомп»

Автор, ответственный за переписку.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru

к.т.н., генеральный директор

Россия

Е. Торина

НИУ «МЭИ»

Email: drozdovaym@mpei.ru

к.т.н., доцент

Россия

А. Сафин

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Email: asafin@gmail.com

д.ф.-м-н., в.н.с.

Россия

Список литературы

  1. Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных системных задач // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2009. №. 7. С. 80–89.
  2. Шурыгина В. Долгожданные МЭМС. Технология малых форм // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2002. №. 4. С. 8–13.
  3. Кочемасов В. Электромеханические переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов – основные типы и производители // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. №7. С. 114–121, № 8. С. 96–106, №9. С. 128–134.
  4. https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  5. Кочемасов В., Майстренко А. СВЧ-переключатели на основе МЭМС // СВЧ-электроника. 2016. № 1. С. 36–42.
  6. https://www.radiocomp.ru/joom/images/storage/docs/broshure/RadantMems2012.pdf [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  7. Rebeiz G.M., Patel C.D., Han S.K. et al. The search for a reliable MEMS switch // IEEE microwave magazine. 2013. V. 14. No. 1. PP. 57–67.
  8. Iannacci J. RF-MEMS technology for high-performance passives. Chapter 1 // IOP Publishing, 2017. 39 p.
  9. Шурыгина В. Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик. Части 1, 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2014. № 2, 3.
  10. Rebeiz G.M., Muldavin J.B. RF MEMS switches and switch circuits // IEEE Microwave magazine. 2001. V. 2. No. 4. PP. 59–71.
  11. Шурыгина В. В поисках стандартов МЭМС. Фермеры против ковбоев // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 3. С. 119–126.
  12. https://www.tronics.tdk.com [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  13. https://www.delfmems.com/press_release/delfmems-announces-its-breakthrough-sp12t-rf-mems-ohmic-switch-has-passed-one-billion/ [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  14. Maciel J. J., Lampen J. L., Taylor E. W. Gamma-ray irradiation of ohmic MEMS switches // Nanophotonics and Macrophotonics for Space Environments VI. SPIE. 2012. V. 8519. PP. 2–10.
  15. The most Reliable MEMS Switches Devices in the World. RF MEMS Switches and Product Catalog, 2013, PP. 1–59.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Пример трансивера, поддерживающего разные диапазоны частот

Скачать (218KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Упрощенное изображение МЭМС-переключателя с емкостным (а) и резистивным (б) контактами

Скачать (106KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Электромеханический привод мембранного типа компании DelfMEMS

Скачать (54KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Вносимые потери в МЭМС ПК SP12T компании DelfMEMS и ПППК

Скачать (121KB)
Метаданные
6. Рис. 5. Интермодуляционные продукты третьего порядка в ПППК и МЭМС ПК

Скачать (62KB)
Метаданные
7. Рис. 6. Варианты корпусирования изделий компании Radant MEMS: а – RMSW101 (SPST); б – RMSW220HP (SPDT); в – RMSW240 (SP4T); г – RMSW260 (SP6T); д – изделия а – г, выпущенные в QFN-корпусах

Скачать (353KB)
Метаданные
8. Рис. 7. Упрощенная структура консольного МЭМС-переключателя с электростатическим приводом: а – переключатель разомкнут; б – переключатель замкнут

Скачать (68KB)
Метаданные
9. Рис. 8. Упрощенные обозначения переключателей: а – SPST; б – SPDT; в – SP4T; г – SP6T

Скачать (122KB)
Метаданные
10. Рис. 9. Отладочные платы для МЭМС-переключателей: а – SPST RMSW100HP/RMSW200HP; б – SPDT RMSW221; в – SP4T RMSW240; г – SP6T RMSW260

Скачать (828KB)
Метаданные
11. Рис. 10. Вносимые потери IL(f); развязка между каналами Iso(f) и возвратные потери RL(f) для SP6T-переключателя RMSW60 в составе отладочной платы RMSW260-EV12

Скачать (158KB)
Метаданные
12. Рис. 11. Зависимости вносимого ослабления от частоты до и после воздействия радиации

Скачать (101KB)
Метаданные

© Кочемасов В., Торина Е., Сафин А., 2024