MEMS RF / microwave switches. Part 1

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅或者付费存取

详细

The article considers MEMS RF / microwave switches. Information is provided on the features and characteristics of various types of such devices produced by a number of manufacturers.

全文:

受限制的访问

作者简介

V. Kochemasov

ООО «Радиокомп»

编辑信件的主要联系方式.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru

к.т.н., генеральный директор

俄罗斯联邦

E. Torina

НИУ «МЭИ»

Email: drozdovaym@mpei.ru

к.т.н., доцент

俄罗斯联邦

A. Safin

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Email: asafin@gmail.com

д.ф.-м-н., в.н.с.

俄罗斯联邦

参考

  1. Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных системных задач // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2009. №. 7. С. 80–89.
  2. Шурыгина В. Долгожданные МЭМС. Технология малых форм // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2002. №. 4. С. 8–13.
  3. Кочемасов В. Электромеханические переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов – основные типы и производители // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. №7. С. 114–121, № 8. С. 96–106, №9. С. 128–134.
  4. https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  5. Кочемасов В., Майстренко А. СВЧ-переключатели на основе МЭМС // СВЧ-электроника. 2016. № 1. С. 36–42.
  6. https://www.radiocomp.ru/joom/images/storage/docs/broshure/RadantMems2012.pdf [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  7. Rebeiz G.M., Patel C.D., Han S.K. et al. The search for a reliable MEMS switch // IEEE microwave magazine. 2013. V. 14. No. 1. PP. 57–67.
  8. Iannacci J. RF-MEMS technology for high-performance passives. Chapter 1 // IOP Publishing, 2017. 39 p.
  9. Шурыгина В. Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик. Части 1, 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2014. № 2, 3.
  10. Rebeiz G.M., Muldavin J.B. RF MEMS switches and switch circuits // IEEE Microwave magazine. 2001. V. 2. No. 4. PP. 59–71.
  11. Шурыгина В. В поисках стандартов МЭМС. Фермеры против ковбоев // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 3. С. 119–126.
  12. https://www.tronics.tdk.com [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  13. https://www.delfmems.com/press_release/delfmems-announces-its-breakthrough-sp12t-rf-mems-ohmic-switch-has-passed-one-billion/ [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
  14. Maciel J. J., Lampen J. L., Taylor E. W. Gamma-ray irradiation of ohmic MEMS switches // Nanophotonics and Macrophotonics for Space Environments VI. SPIE. 2012. V. 8519. PP. 2–10.
  15. The most Reliable MEMS Switches Devices in the World. RF MEMS Switches and Product Catalog, 2013, PP. 1–59.

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载
2. Fig. 1. Example of a transceiver supporting different frequency ranges

下载 (218KB)
索引源数据
3. Fig. 2. Simplified image of a MEMS switch with capacitive (a) and resistive (b) contacts

下载 (106KB)
索引源数据
4. Fig. 3. DelfMEMS electromechanical diaphragm type actuator

下载 (54KB)
索引源数据
5. Fig. 4. Insertion losses in DelfMEMS SP12T MEMS PCs and PPPPKs

下载 (121KB)
索引源数据
6. Fig. 5. Third-order intermodulation products in PPPPK and MEMS PCs

下载 (62KB)
索引源数据
7. Fig. 6. Housing variants of Radant MEMS products: a - RMSW101 (SPST); b - RMSW220HP (SPDT); c - RMSW240 (SP4T); d - RMSW260 (SP6T); e - products a - d, produced in QFN-cases.

下载 (353KB)
索引源数据
8. Fig. 7. Simplified structure of a cantilever MEMS switch with electrostatic actuator: a - switch open; b - switch closed

下载 (68KB)
索引源数据
9. Fig. 8. Simplified designations of switches: a - SPST; b - SPDT; c - SP4T; d - SP6T

下载 (122KB)
索引源数据
10. Fig. 9. Debugging boards for MEMS switches: a - SPST RMSW100HP/RMSW200HP; b - SPDT RMSW221; c - SP4T RMSW240; d - SP6T RMSW260.

下载 (828KB)
索引源数据
11. Fig. 10. Insertion loss IL(f); channel-to-channel decoupling Iso(f) and return loss RL(f) for the SP6T switch RMSW60 as part of the RMSW260-EV12 debug board

下载 (158KB)
索引源数据
12. Fig. 11. Dependences of insertion attenuation on frequency before and after radiation exposure

下载 (101KB)
索引源数据

版权所有 © Kochemasov V., Torina E., Safin A., 2024