Email this article MEMS RF / microwave switches. Part 1
- Authors: Kochemasov V.1, Torina E.2, Safin A.3
-
Affiliations:
- ООО «Радиокомп»
- НИУ «МЭИ»
- ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- Issue: No 4 (235) (2024)
- Pages: 76-84
- Section: Microwave electronics
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/633157
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.235.4.76.84
- ID: 633157
Cite item
Open Access
Access granted
Abstract
The article considers MEMS RF / microwave switches. Information is provided on the features and characteristics of various types of such devices produced by a number of manufacturers.
Keywords
Full Text
About the authors
V. Kochemasov
ООО «Радиокомп»
Author for correspondence.
Email: vkochemasov@radiocomp.ru
к.т.н., генеральный директор
Russian FederationE. Torina
НИУ «МЭИ»
Email: drozdovaym@mpei.ru
к.т.н., доцент
Russian FederationA. Safin
ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Email: asafin@gmail.com
д.ф.-м-н., в.н.с.
Russian FederationReferences
- Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных системных задач // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2009. №. 7. С. 80–89.
- Шурыгина В. Долгожданные МЭМС. Технология малых форм // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2002. №. 4. С. 8–13.
- Кочемасов В. Электромеханические переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов – основные типы и производители // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. №7. С. 114–121, № 8. С. 96–106, №9. С. 128–134.
- https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- Кочемасов В., Майстренко А. СВЧ-переключатели на основе МЭМС // СВЧ-электроника. 2016. № 1. С. 36–42.
- https://www.radiocomp.ru/joom/images/storage/docs/broshure/RadantMems2012.pdf [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- Rebeiz G.M., Patel C.D., Han S.K. et al. The search for a reliable MEMS switch // IEEE microwave magazine. 2013. V. 14. No. 1. PP. 57–67.
- Iannacci J. RF-MEMS technology for high-performance passives. Chapter 1 // IOP Publishing, 2017. 39 p.
- Шурыгина В. Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик. Части 1, 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2014. № 2, 3.
- Rebeiz G.M., Muldavin J.B. RF MEMS switches and switch circuits // IEEE Microwave magazine. 2001. V. 2. No. 4. PP. 59–71.
- Шурыгина В. В поисках стандартов МЭМС. Фермеры против ковбоев // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 3. С. 119–126.
- https://www.tronics.tdk.com [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- https://www.delfmems.com/press_release/delfmems-announces-its-breakthrough-sp12t-rf-mems-ohmic-switch-has-passed-one-billion/ [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
- Maciel J. J., Lampen J. L., Taylor E. W. Gamma-ray irradiation of ohmic MEMS switches // Nanophotonics and Macrophotonics for Space Environments VI. SPIE. 2012. V. 8519. PP. 2–10.
- The most Reliable MEMS Switches Devices in the World. RF MEMS Switches and Product Catalog, 2013, PP. 1–59.
Supplementary files
Supplementary Files
Action
1.
JATS XML
2.
Fig. 1. Example of a transceiver supporting different frequency ranges
Download (218KB)
3.
Fig. 2. Simplified image of a MEMS switch with capacitive (a) and resistive (b) contacts
Download (106KB)
4.
Fig. 3. DelfMEMS electromechanical diaphragm type actuator
Download (54KB)
5.
Fig. 4. Insertion losses in DelfMEMS SP12T MEMS PCs and PPPPKs
Download (121KB)
6.
Fig. 5. Third-order intermodulation products in PPPPK and MEMS PCs
Download (62KB)
7.
Fig. 6. Housing variants of Radant MEMS products: a - RMSW101 (SPST); b - RMSW220HP (SPDT); c - RMSW240 (SP4T); d - RMSW260 (SP6T); e - products a - d, produced in QFN-cases.
Download (353KB)
8.
Fig. 7. Simplified structure of a cantilever MEMS switch with electrostatic actuator: a - switch open; b - switch closed
Download (68KB)
9.
Fig. 8. Simplified designations of switches: a - SPST; b - SPDT; c - SP4T; d - SP6T
Download (122KB)
10.
Fig. 9. Debugging boards for MEMS switches: a - SPST RMSW100HP/RMSW200HP; b - SPDT RMSW221; c - SP4T RMSW240; d - SP6T RMSW260.
Download (828KB)
11.
Fig. 10. Insertion loss IL(f); channel-to-channel decoupling Iso(f) and return loss RL(f) for the SP6T switch RMSW60 as part of the RMSW260-EV12 debug board
Download (158KB)
12.
Fig. 11. Dependences of insertion attenuation on frequency before and after radiation exposure
Download (101KB)
