MEMS RF / microwave switches. Part 1

V. Kochemasov; Кочемасов В.; E. Torina; Торина Е.; A. Safin; Сафин А.

doi:10.22184/1992-4178.2024.235.4.76.84

MEMS RF / microwave switches. Part 1

Autores: Kochemasov V.¹, Torina E.², Safin A.³
Afiliações:
1. ООО «Радиокомп»
2. НИУ «МЭИ»
3. ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Edição: Nº 4 (235) (2024)
Páginas: 76-84
Seção: Microwave electronics
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/633157
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.235.4.76.84
ID: 633157

Citar

Texto integral

Acesso aberto
Acesso é fechado

Acesso está concedido
Acesso é fechado

Acesso é pago ou somente para assinantes

Resumo
Texto integral
Sobre autores
Bibliografia
Arquivos suplementares
Estatísticas

Resumo

The article considers MEMS RF / microwave switches. Information is provided on the features and characteristics of various types of such devices produced by a number of manufacturers.

Palavras-chave

MEMS, switch, frequency range, insertion loss, decoupling

Texto integral

Sobre autores

V. Kochemasov

ООО «Радиокомп»

Autor responsável pela correspondência
Email: vkochemasov@radiocomp.ru

к.т.н., генеральный директор

Rússia

E. Torina

НИУ «МЭИ»

Email: drozdovaym@mpei.ru

к.т.н., доцент

Rússia

A. Safin

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Email: asafin@gmail.com

д.ф.-м-н., в.н.с.

Rússia

Bibliografia

Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных системных задач // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2009. №. 7. С. 80–89.
Шурыгина В. Долгожданные МЭМС. Технология малых форм // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2002. №. 4. С. 8–13.
Кочемасов В. Электромеханические переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов – основные типы и производители // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. №7. С. 114–121, № 8. С. 96–106, №9. С. 128–134.
https://www.analog.com/en/technical-articles/fundamentals-adi-revolutionary-mems-switch-technology.html [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
Кочемасов В., Майстренко А. СВЧ-переключатели на основе МЭМС // СВЧ-электроника. 2016. № 1. С. 36–42.
https://www.radiocomp.ru/joom/images/storage/docs/broshure/RadantMems2012.pdf [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
Rebeiz G.M., Patel C.D., Han S.K. et al. The search for a reliable MEMS switch // IEEE microwave magazine. 2013. V. 14. No. 1. PP. 57–67.
Iannacci J. RF-MEMS technology for high-performance passives. Chapter 1 // IOP Publishing, 2017. 39 p.
Шурыгина В. Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик. Части 1, 2 // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2014. № 2, 3.
Rebeiz G.M., Muldavin J.B. RF MEMS switches and switch circuits // IEEE Microwave magazine. 2001. V. 2. No. 4. PP. 59–71.
Шурыгина В. В поисках стандартов МЭМС. Фермеры против ковбоев // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 3. С. 119–126.
https://www.tronics.tdk.com [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
https://www.delfmems.com/press_release/delfmems-announces-its-breakthrough-sp12t-rf-mems-ohmic-switch-has-passed-one-billion/ [Электронный ресурс] Дата обращения: 08.12.2023
Maciel J. J., Lampen J. L., Taylor E. W. Gamma-ray irradiation of ohmic MEMS switches // Nanophotonics and Macrophotonics for Space Environments VI. SPIE. 2012. V. 8519. PP. 2–10.
The most Reliable MEMS Switches Devices in the World. RF MEMS Switches and Product Catalog, 2013, PP. 1–59.

Arquivos suplementares

Ação

1. JATS XML

Baixar

2. Fig. 1. Example of a transceiver supporting different frequency ranges

Baixar (218KB)

Metadados

3. Fig. 2. Simplified image of a MEMS switch with capacitive (a) and resistive (b) contacts

Baixar (106KB)

Metadados

4. Fig. 3. DelfMEMS electromechanical diaphragm type actuator

Baixar (54KB)

Metadados

5. Fig. 4. Insertion losses in DelfMEMS SP12T MEMS PCs and PPPPKs

Baixar (121KB)

Metadados

6. Fig. 5. Third-order intermodulation products in PPPPK and MEMS PCs

Baixar (62KB)

Metadados

7. Fig. 6. Housing variants of Radant MEMS products: a - RMSW101 (SPST); b - RMSW220HP (SPDT); c - RMSW240 (SP4T); d - RMSW260 (SP6T); e - products a - d, produced in QFN-cases.

Baixar (353KB)

Metadados

8. Fig. 7. Simplified structure of a cantilever MEMS switch with electrostatic actuator: a - switch open; b - switch closed

Baixar (68KB)

Metadados

9. Fig. 8. Simplified designations of switches: a - SPST; b - SPDT; c - SP4T; d - SP6T

Baixar (122KB)

Metadados

10. Fig. 9. Debugging boards for MEMS switches: a - SPST RMSW100HP/RMSW200HP; b - SPDT RMSW221; c - SP4T RMSW240; d - SP6T RMSW260.

Baixar (828KB)

Metadados

11. Fig. 10. Insertion loss IL(f); channel-to-channel decoupling Iso(f) and return loss RL(f) for the SP6T switch RMSW60 as part of the RMSW260-EV12 debug board