Отправить статью по E-mail Акустическая микроскопия: выявление скрытых дефектов
- Авторы: Варламов П.1, Леляев В.1
-
Учреждения:
- Компания «Глобал Микроэлектроника»
- Выпуск: № 10 (2024)
- Страницы: 164-167
- Раздел: Надежность и испытания
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/653404
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.241.10.164.167
- ID: 653404
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Развитие современной техники невозможно без качественной компонентной базы, причем характеристики изделия напрямую зависят от надежности его элементов. Чем сложнее технологический процесс, тем важнее обеспечение качества выпускаемой продукции. В процессе проверки характеристик изделий на соответствие предъявляемым требованиям важная роль отводится детальному контролю на всех этапах производства. Традиционно для обнаружения в изделиях скрытых дефектов используются разрушающие и неразрушающие методы контроля. В статье рассматривается один из наиболее эффективных методов неразрушающего контроля микроэлектронных компонентов – ультразвуковая акустическая микроскопия.
Полный текст
Об авторах
П. Варламов
Компания «Глобал Микроэлектроника»
Автор, ответственный за переписку.
Email: vpi@global-micro.ru
ведущий инженер
РоссияВ. Леляев
Компания «Глобал Микроэлектроника»
Email: VL@global-micro.ru
руководитель направления
РоссияСписок литературы
- Халиуллина А.В., Хайрутдинов Б.И. Ультразвук в медицине. Учебное пособие. Казань, 2022. 117 с.
- Park S. AcouLab Semiconductor Basic Education 2008.
- Бояркин Е.В., Кочетков А.С., Бехер С.А. Физические основы ультразвукового контроля. Руководство по подготовке к экзамену. Учебное пособие. Новосибирск: Издательство СГУПС, 2018. 38 с.
- Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.В. Микроэлектроника. Физические и технические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. 464 с.
Дополнительные файлы
