电邮这篇文章 Acoustic microscopy: detecting hidden defects
- 作者: Varlamov P.1, Lelyaev V.1
-
隶属关系:
- Компания «Глобал Микроэлектроника»
- 期: 编号 10 (2024)
- 页面: 164-167
- 栏目: Reliability and validation
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/653404
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.241.10.164.167
- ID: 653404
如何引用文章
开放存取
##reader.subscriptionAccessGranted##
详细
The article discusses one of the most effective methods of microelectronic component non-destructive testing – ultrasonic acoustic microscopy, used to detect hidden defects.
全文:
作者简介
P. Varlamov
Компания «Глобал Микроэлектроника»
编辑信件的主要联系方式.
Email: vpi@global-micro.ru
ведущий инженер
俄罗斯联邦V. Lelyaev
Компания «Глобал Микроэлектроника»
Email: VL@global-micro.ru
руководитель направления
俄罗斯联邦参考
- Халиуллина А.В., Хайрутдинов Б.И. Ультразвук в медицине. Учебное пособие. Казань, 2022. 117 с.
- Park S. AcouLab Semiconductor Basic Education 2008.
- Бояркин Е.В., Кочетков А.С., Бехер С.А. Физические основы ультразвукового контроля. Руководство по подготовке к экзамену. Учебное пособие. Новосибирск: Издательство СГУПС, 2018. 38 с.
- Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.В. Микроэлектроника. Физические и технические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. 464 с.
补充文件
附件文件
动作
1.
JATS XML
2.
Fig. 1. The results of scanning the microcircuit with an ultrasonic wave: depth slice and 3D reconstruction
下载 (230KB)
3.
Fig. 2. The focal area of the converter
下载 (149KB)
4.
Fig. 3. The principle of ultrasonic defect detection
下载 (108KB)
5.
Fig. 4. SAM Mini scanning acoustic microscope from Acculab company
下载 (146KB)
6.
5. Radiation patterns of ultrasonic waves of various frequencies: a – 500 kHz; b – 1 MHz; c – 2 MHz; d – 5 MHz (transducer diameter 5 mm, wave propagation velocity 1480 m/s)
下载 (173KB)
7.
Table
下载 (741KB)
