Микроскопия в области глубокого ультрафиолета: принципы и перспективы применения в промышленности и науке

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Рассматриваются физические основы и практика применения DUV-микроскопии. Развитие лазерных технологий и появление новых датчиков, современных оптических материалов открывает путь к ее широкому внедрению в микроэлектронике, биомедицине и материаловедении.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. Плебанович

ОАО «Планар»

Автор, ответственный за переписку.
Email: vpleba@planar.by

к.т.н.

Белоруссия, г. Минск

В. Гришкевич

ОАО «Оптоэлектронные системы»

Email: marketing@optes.by
Белоруссия, г. Минск

Список литературы

  1. https://ru.wikipedia.org/wiki/
  2. Smith A. (2023). DUV Microscopy for Semiconductor Inspection // Nature Photonics.
  3. ZEISS Academy Microscopy, https://www.zeiss.com/
  4. Zhang L. (2022). Deep UV Imaging of Biomolecules Without Labeling // Science Advances.
  5. ОАО «Оптоэлектронные системы», https://www.optes.by/

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Оптический диапазон

Скачать (70KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Картины дифракции Эйри, создаваемые светом от двух точечных источников, проходящих через круглую апертуру, например зрачок глаза. Можно выделить точки, находящиеся далеко друг от друга (слева) или отвечающие критерию Рэлея (в центре). Точки ближе, чем критерий Рэлея (справа), различить сложно

Скачать (79KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Микроскоп автоматизированный МА-300

Скачать (110KB)
Метаданные
5. Рис. 4. ГУФ – комплекс высокоразрешающий аналитический, работающий в ультрафиолетовой области спектра (λ = 248 нм)

Скачать (110KB)
Метаданные

© Плебанович В., Гришкевич В., 2025