Processing of optical crystals and leds in glow discharge plasma

Maksim A. Bogachev; Богачев Максим Андреевич; Denis D. Vasiliev; Васильев Денис Дмитриевич; Konstantin M. Moiseev; Моисеев Константин Михайлович; Maria V. Nazarenko; Назаренко Мария Владимировна

doi:10.22184/1993-7296.FRos.2023.17.2.108.112

Обработка оптических кристаллов и светодиодов в плазме тлеющего разряда

Авторы: Богачев М.А.¹^,2, Васильев Д.Д.¹^,2, Моисеев К.М.¹^,2, Назаренко М.В.¹^,3
Учреждения:
1. ООО «Джиэнтех»
2. МГТУ им. Н. Э. Баумана
3. РТУ МИРЭА
Выпуск: Том 17, № 2 (2023)
Страницы: 108-113
Раздел: Технологии и технологическое оборудование
URL: https://journals.eco-vector.com/1993-7296/article/view/627296
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2023.17.2.108.112
ID: 627296

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Обработка в плазме тлеющего разряда все активнее применяется для очистки поверхностей материалов от загрязнений, уменьшения шероховатости поверхности, повышения поверхностной энергии и модификации поверхности. В статье приведены результаты обработки в плазме высокочастотного и низкочастотного газового разряда в установке плазменной обработки MPC RF-12 дисков оптических кристаллов и кассет твердотельных светодиодов. Оценено влияние параметров и режимов плазменной обработки, а именно мощности, времени и типа рабочего газа, на качество обработки. Показано, что плазменная обработка является мощным инструментом влияния на свойства поверхности оптических кристаллов, эффективна для удаления оксидных слоев металлов и безопасна для клеевых соединений кристаллов с основанием.

Ключевые слова

низкотемпературная импульсная плазма, оптические кристаллы, твердотельные светодиоды, плазменная обработка поверхности, очистка оптических элементов

Полный текст

Об авторах

Максим Андреевич Богачев

ООО «Джиэнтех»; МГТУ им. Н. Э. Баумана

Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0001-6580-0103

магистр 1 года кафедры «Электронные технологии в машиностроении» ; инженер-конструктор

Россия, Москва; Москва

Денис Дмитриевич Васильев

ООО «Джиэнтех»; МГТУ им. Н. Э. Баумана

Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0003-2147-4216

к. т. н., доцент кафедры «Электронные технологии в машиностроении»; ведущий инженер

Россия, Москва; Москва

Константин Михайлович Моисеев

ООО «Джиэнтех»; МГТУ им. Н. Э. Баумана

Email: journal@electronics.ru

к. т. н., доцент кафедры «Электронные технологии в машиностроении»; технический директор

Россия, Москва; Москва

Мария Владимировна Назаренко

ООО «Джиэнтех»; РТУ МИРЭА

Автор, ответственный за переписку.
Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0002-8753-7737

аспирант кафедры наноэлектроники; инженер-технолог

Россия, Москва; Москва

Список литературы

Kovsh I. B. Photonics in Russia: State & Challenges. Part I. Photonics Russia. 2019;13(2):130–141. doi: 10.22184/1993-7296.FRos.2019.13.2.130.141.
Segev M., Bandres M. A. Topological photonics: Where do we go from here? Nanophotonics. 2021;10(1):425–434. doi: 10.1515/nanoph-2020-0441.
Wu Y., Li C., Hu X., Ao Y., Zhao Y., Gong Q. Applications of topological photonics in integrated photonic devices. Advanced Optical Materials. 2017;5(18): 1700357. doi: 10.1002/adom.201700357.
Pelucchi E., Fagas G., Aharonovich I., Englund, D, Figueroa E., Gong Q. et al. The potential and global outlook of integrated photonics for quantum technologies. Nature Reviews Physics. 2022;4(3):194–208. doi: 10.1038/s42254-021-00398-z.
Singh M., Weidner K. Types and performance of high performing multi-mode polymer waveguides for optical interconnects/ In book: Optical Interconnects for Data Centers. Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials. 2017;157–170. doi: 10.1016/B978-0-08-100512-5.00006-1.
Kachura S. M., Postnov V. I. Perspektivnye optovolokonnye datchiki i ih primenenie (obzor). Trudy VIAM. 2019; 5 (77). (In Russ.). Качура С. М., Постнов В. И. Перспективные оптоволоконные датчики и их применение (обзор). Труды ВИАМ. 2019; 5 (77).
Miftahov I. S., Voznesenskij E. F., Abdullin I. Sh., Fadeev A. O., Gataullin L. Primenenie plazmy VCh-razryada ponizhennogo davleniya v processah polirovki opticheskih materialov polikristallicheskogo stroeniya. Vestnik Kazanskogo tekhnologicheskogo universiteta. 2015; 11. (In Russ.). Мифтахов И. С., Вознесенский Э. Ф., Абдуллин И. Ш., Фадеев А. О., Гатауллин Л. Применение плазмы ВЧ-разряда пониженного давления в процессах полировки оптических материалов поликристаллического строения. Вестник Казанского технологического университета. 2015;11.
Gribenyukov A. I., Voevodin V. I. Influence of the preparation conditions on optical properties of single crystals ZnGeP2 in THz range // J. Phys. Conf. Ser. – 2018. – № 1115. – P. 052030.
Gerhard C., Stappenbeck M. Impact of the Polishing Suspension Concentration on Laser Damage of Classically Manufactured and Plasma Post-Processed Zinc Crown Glass Surfaces. Appl. Sci. 2018, 8, 1556. https://doi.org/10.3390/app8091556.
Vasiliev A. Osobennosti tekhnologii proizvodstva svetodiodnyh svetil’nikov. Sovremennaya svetotekhnika. 2010;5. (In Russ). Васильев А. Особенности технологии производства светодиодных светильников. Современная светотехника. 2010;5.
Belyaev V. Tverdotel’nye i organicheskie mikrosvetodiody – tekhnologiya, rynok, perspektivy. Elektronika: Nauka, tekhnologiya, biznes. 2018; 8. doi: 10.22184/1992-4178.2018.179.8.102.112. (In Russ). Беляев В. Твердотельные и органические микросветодиоды – технология, рынок, перспективы.Электроника: Наука, технология, бизнес. 2018; 8. doi: 10.22184/1992-4178.2018.179.8.102.112.
Moiseev K. M., Vasiliev D. D., Mikhailova I. V., Vorobev I. A. Development of Plasma Processing Systems for Optics and Electronics Products. Photonics Russia. 2022;16(2):136–141. doi: 10.22184/1993-7296.FRos.2022.16.2.136.140.