Формирование черненого алюминия методом вакуум-термического испарения для ИК-излучателей

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Создание материалов, представляющее собой черные покрытия, работающие в ближнем и среднем ИК-диапазонах, является актуальной задачей. Слои таких материалов могут использоваться для улучшения эффективности ИК-излучателей. Одним из перспективных материалов, хорошо согласующимся с МЭМС технологией, является покрытие из черного оксида алюминия. В данной работе представлены результаты формирования слоя черного оксида алюминия методом вакуум-термического испарения, и исследования его поглощающих свойств в ИК-области спектра. Экспериментальные образцы слоев черного оксида алюминия продемонстрировали поглощение в диапазоне от 2,2 до 28 мкм на уровне 84% и показали высокую температурную стабильность до 800 °C.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

А. М. Тарасов

Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Автор, ответственный за переписку.
Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0003-3648-8717

инженер

Россия, Зеленоград, Московская обл.

Д. В. Новиков

Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0002-9518-1208

инженер

Россия, Зеленоград, Московская обл.

Д. В. Горелов

Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0002-0887-9406

начальник

Россия, Зеленоград, Московская обл.

С. С. Генералов

ФГБНУ НПК «Технологический центр»

Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0002-7455-7800

начальник

Россия, Зеленоград, Московская обл.

В. В. Амеличев

ФГБНУ НПК «Технологический центр»

Email: journal@electronics.ru
ORCID iD: 0000-0002-4204-2626

кандидат технических наук, нач. МСТ НПК «Технологический центр»

Россия, Зеленоград, Московская обл.

Список литературы

  1. Cai L, E J, Li J, Ding J, Luo B. A comprehensive review on combustion stabilization technologies of micro/meso-scale combustors for micro thermophotovoltaic systems: Thermal, emission, and energy conversion. Fuel. 2023;335:126660. https://doi.org/10.1016/j.fuel.2022.126660.
  2. Carstens S, Meyer R, Enke D. Towards Macroporous α-Al2O3—Routes, Possibilities and Limitations. Materials. 2020;13:1787. https://doi.org/10.3390/ma13071787.
  3. He Z, Yan Y, Zhao T, Zhang Z, Mikulčić H. Parametric study of inserting internal spiral fins on the micro combustor performance for thermophotovoltaic systems. Renewable and Sustainable Energy Reviews. 2022;165:112595. https://doi.org/10.1016/j.rser.2022.112595.
  4. Hu J, Li Y, Zhen Y, Chen M, Wan H. n situ FTIR and ex situ XPS/HS-LEIS study of supported Cu / Al2O3 and Cu / ZnO catalysts for CO2 hydrogenation. Chinese Journal of Catalysis. 2021;42:367–75. https://doi.org/10.1016/S1872-2067(20)63672-5.
  5. Qian M., Shi Q., Qin L., Huang J., Guo C., Liu Y. et al. Fabrication of Selective Thermal Emitter with Multilayer Films for Mid-/Low-Temperature Infrared Stealth with Radiative Cooling. Photonics. 2023;10:645. https://doi.org/10.3390/photonics10060645.
  6. Stanca S. E., Hänschke F., Ihring A., Zieger G., Dellith J., Kessler E. et al. Chemical and Electrochemical Synthesis of Platinum Black. Sci. Rep. 2017;7:1074. https://doi.org/10.1038/s41598-017-01040-8.
  7. Zhou Z., Huang J. Mixed design of radar/infrared stealth for advanced fighter intake and exhaust system. Aerospace Science and Technology. 2021;110:106490. https://doi.org/10.1016/j.ast.2021.106490.
  8. Zhu H., Li Q., Tao C., Hong Y., Xu Z., Shen W. et al. Multispectral camouflage for infrared, visible, lasers and microwave with radiative cooling. Nat. Commun. 2021;12:1805. https://doi.org/10.1038/s41467-021-22051-0.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2. Рис. 1. Схема установки УРМ-3279011

Скачать (136KB)
3. Рис. 2. Слой черного алюминия после одного (а) и трех (b) операций напыления (РЭМ-изображение)

Скачать (935KB)
4. Рис. 3. Спектры поглощения черного алюминия, нанесенного на полированную сторону кремниевой пластины

Скачать (293KB)
5. Рис. 4. Спектры поглощения черного алюминия, нанесенного на неполированную сторону кремниевой пластины

Скачать (226KB)
6. Рис. 5. Зависимость интенсивности отражения ИК-излучения на 800 см-1 от количества операций осаждения испарений на полированную и неполированную кремниевую подложку

Скачать (219KB)
7. Рис. 6. Образцы покрытия черного алюминия: а) до нагрева; b) после нагрева до 800 °C

Скачать (335KB)
8. Рис. 7. Спектры поглощения покрытия из черного алюминия до и после операций нагрева при варьировании температуры нагрева

Скачать (785KB)
9. Рис. 8. Покрытие из черного алюминия: а) до операции нагрева; b) после операции нагрева (РЭМ-изображение)

Скачать (411KB)

© Тарасов А.М., Новиков Д.В., Горелов Д.В., Генералов С.С., Амеличев В.В., 2023

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах