Отправить статью по E-mail Измерительная система для контроля асферических линз из германия на ультрапрецизионных станках серии УТМ-250
- Авторы: Захаревич Е.М.1, Лапшин В.В.1, Шавва М.А.1, Пошехонов Р.А.2, Волков П.В.3
-
Учреждения:
- Научно-производственное объединение «Асферика»
- Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
- Научно-производственное предприятие «Технологические электронные оптические системы»
- Выпуск: Том 19, № 2 (2025)
- Страницы: 116-129
- Раздел: Технологии и технологическое оборудование
- URL: https://journals.eco-vector.com/1993-7296/article/view/680330
- DOI: https://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.2.116.129
- ID: 680330
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
В статье описана встраиваемая измерительная система отечественной разработки для контроля формы оптических деталей, которая может быть использована на ультрапрецизионных станках, предназначенных для алмазного точения. Система контроля имеет в составе контактный и бесконтактный датчики, низкокогерентный интерферометр, преобразователь сигнала и программное обеспечение, позволяющее проводить расчет отклонений формы сферических и асферических поверхностей и корректировать код управляющей программы для исключения систематических отклонений формы. Приведены примеры использования контактного датчика для повышения точности формы P-V асферических линз из германия диаметром 90 мм с 1,4 мкм до 100 нм после компенсации систематических отклонений формы. Описаны возможности использования бесконтактного датчика входящего в измерительную систему для выполнения юстировки ультрапрецизионного станка, а также контроля плоских и цилиндрических поверхностей.
Полный текст
Об авторах
Евгений Мефодьевич Захаревич
Научно-производственное объединение «Асферика»
Автор, ответственный за переписку.
Email: zaharev@gmail.com
ORCID iD: 0000-0001-6997-3335
директор по науке и инновациям
Россия, МоскваВасилий Владимирович Лапшин
Научно-производственное объединение «Асферика»
Email: lapshin_v@aspherica.ru
ORCID iD: 0000-0002-6971-8534
старший инженер-исследователь
Россия, МоскваМария Александровна Шавва
Научно-производственное объединение «Асферика»
Email: shavva_m@aspherica.ru
ORCID iD: 0000-0002-4676-2567
к. т. н., главный конструктор
Россия, МоскваРоман Александрович Пошехонов
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
Email: poshekhonov_r@aspherica.ru
ORCID iD: 0000-0003-2188-7854
к. т. н., доцент
Россия, МоскваПётр Витальевич Волков
Научно-производственное предприятие «Технологические электронные оптические системы»
Email: p.volkov.79@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0003-2479-0716
к. ф.- м. н., директор
Россия, Нижний НовгородСписок литературы
- Gao W., Haitjema H., Fang F., Leach R. K., Cheung C. F., Savio E., Linares J. M. On-machine and in-process surface metrology for precision manufacturing. CIRP Annals-Manufacturing Technology. 2019. doi: 10.1016/j.cirp.2019.05.005.
- Automated form error compensation. URL: https://www.precitech.com/precision-optics-technology/application-notes/automated-form-error-correction.
- AIR BEARING C-LVDT USER’S GUIDE. Capacitive LVDT-Type Contact Sensor. URL: https://www.lionprecision.com/user-manual-air-bearing-c-lvdt/ (Дата посещения 01.02.2025).
- Бурдак С. В., Захаревич Е. М., Лапшин В. В., Шавва М. А., Пошехонов Р. А. Инновационные разработки в области российского ультрапрецизионного станкостроения. Фотоника. 2024;18(2):116–120, doi: 10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.2.116.120. Burdak S. V., Zakharevich E. M., Lapshin V. V., Shavva M. A., Poshekhonov R. A. Innovative Developments in the Field of Russian Ultra-precision Machine Tools. Photonics Russia. 2024; 18(2): 116–120, doi: 10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.2.116.120.
- Лапшин В. В., Захаревич Е. М., Кузнецов М. С., Зараменских К. С., Осипов А. В. Технология обработки оптических деталей из кристаллов КРС-5 методом алмазного точения и фрезерования. Фотоника. 2021;15(1):18–29. Lapshin V. V., Zakharevich E. M., Kuznetsov M. S., Zaramenskikh K. S., Osipov A. V. Technology of Machining Optical Parts Made of KRS5 Crystals by Diamond Turning and Milling. Photonics Russia. 2021;15(1):18–29.
- Захаревич Е. М., Пошехонов Р. А., Лапшин В. В., Шавва М. А. Метрологическое обеспечение ультрапрецизионных станков для обработки оптики и точной механики. Презентация с демо-дня индустр. центра компетенций «Метрология и измерительная техника», Госкорпорации Ростех. М. 2024. URL: https://aspherica.ru/publications. (Дата посещения 10.02.2025). Zaharevich E. M., Poshekhonov R. A., Lapshin V. V., Shavva M. A. Metrologicheskoe obespechenie ul’traprecizionnyh stankov dlya obrabotki optiki i tochnoj mekhaniki. Prezentaciya s demo-dnya industr. centra kompetencij ”Metrologiya i izmeritel’naya tekhnika”, Goskorporacii Rostekh. M. 2024. URL: https://aspherica.ru/publications. (10.02.2025).
Дополнительные файлы
