Штамповая электронная нанолитография как инструмент изготовления апериодических дифракционных решеток для рентгеновской оптики

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Представлены результаты изготовления и характеризации с использованием сканирующего атомно-силового микроскопа металлизированных апериодических дифракционных решеток (с частотой штрихов от 150 до 570 линий на мм) с использованием модернизированного штампового сканирующего электронного нанолитографа ZBA-21 с технологическим стандартом 200 нм и рабочей площадью изделия 150 × 150 мм.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

А. И. Аржанов

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН; Московский Педагогический Государственный Университет

Email: a_v_naumov@mail.ru
ORCID iD: 0000-0001-9305-067X
Россия, Москва, Троицк; Москва

А. С. Шелковников

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН

Email: a_v_naumov@mail.ruро
ORCID iD: 0000-0003-3391-2738
Россия, Москва, Троицк

В. В. Шульга

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН

Email: a_v_naumov@mail.ru
Россия, Москва, Троицк

К. Е. Алексашин

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН

Email: a_v_naumov@mail.ru
Россия, Москва, Троицк

А. О. Колесников

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН

Email: a_v_naumov@mail.ru
ORCID iD: 0000-0003-2511-762X
Россия, Москва, Троицк

А. Н. Шатохин

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН

Email: a_v_naumov@mail.ru
ORCID iD: 0000-0002-6057-3535
Россия, Москва, Троицк

Е. Н. Рагозин

Ragozin

Email: a_v_naumov@mail.ru
ORCID iD: 0000-0001-5912-9229
Россия, Москва, Троицк

А. В. Наумов

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН; Московский Педагогический Государственный Университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: a_v_naumov@mail.ru
ORCID iD: 0000-0001-7938-9802
Россия, Москва, Троицк; Москва

Список литературы

  1. Soifer V. A. Diffractive nanophotonics and advanced information technologies. Herald of the Russian Academy of Sciences. 2014; 84(1):9–20. doi: 10.1134/S1019331614010067
  2. Eremchev I. Y., Prokopova D. V., Losevskii N. N., Mynzhasarov I. T., Kotova S. P., Naumov A. V. Three-dimensional fluorescence nanoscopy of single quantum emitters based on the optics of spiral light beams. Physics-Uspekhi. 2022;65(6):617–626. doi: 10.3367/UFNe.2021.05.038982
  3. Ragozin E. N., Vishnyakov E. A., Kolesnikov A. O., Pirozhkov A. S., Shatokhin A. N. Soft X-ray spectrometers based on aperiodic reflection gratings and their application. Physics-Uspekhi. 2021; 64 495–514. doi: 10.3367/UFNr.2020.06.038799
  4. Kovalets N. P., Kozhina E. P., Razumovskaya I. V., Arzhanov A. I., Naumov А. V. Scratching of metallized polymer films by vickers indenter as a method for controlled production of sers-active metasurfaces. Journal of Luminescence. 2024; 275:120803. doi: 10.1016/j.jlumin.2024.120803
  5. Vyalykh A. P., Skakunenko P. I., Shishova M. V., Semenko A. V., Afanasiev A. E., Belotelov G. S., Sutyrin D. V., Balykin V. I. Atom Chip and Diffraction Grating for the Laser Cooling of Ytterbium Atoms. JETP Letters, 119 (4), 285-293 (2024). doi: 10.1134/S0021364023604189.
  6. Kotova S. P., Losevsky N. N., Mayorova A. M., Samagin S. A. Optothermal traps based on sector diffraction optical elements. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 87 (12), 1767-1772 (2023). doi: 10.1134/s1062873823704038
  7. Kazakov I. A., Malakhov K. M., Kovalev E. E., Mkrtchyan A. A., Mishevsky M. S., Svetikov V. V., Shipulin A. V. Study of operational algorithm for interrogator with arrayed waveguide grating on a photonic integrated circuit. Photonics Russia 18 (2) 122-135 (2024). doi: 10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.2.122.135

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Первичная характеризация литографированной апериодической решетки с переменным пространственным шагом: а) внешний вид атомно-силового микроскопа NTegra (производство компании «Активная фотоника», Россия) и общий вид образца; b) профиль высоты штрихов (пример для области с плотностью ≈270 линий / мм), полученный методом атомно-силовой микроскопии; измеренная глубина профиля ≈160 нм; c) фрагменты топографии различных участков решетки с переменным пространственным шагом, полученные методом АСМ (участки 1–4)

Скачать (434KB)
Метаданные

© Аржанов А.И., Шелковников А.С., Шульга В.В., Алексашин К.Е., Колесников А.О., Шатохин А.Н., Рагозин Е.Н., Наумов А.В., 2025