COMPARISON OF IRON SILICIDE SYNTHESIZED BY MOLECULAR BEAM AND SOLID-PHASE EPITAXY


Cite item

Full Text

Abstract

The initial stages of Fe-Si silicides formation, obtained by methods of reactive and solid-phase epitaxy at different temperatures of substrate Si, high energy electron diffraction, Auger-electron, electron-energy-loss spectroscopic and spectroscopic ellipsometry are presented in the article. The influence of process parameters during deposition on the formation of silicides was investigated.

References

  1. Noise in MgO barrier magnetic tunnel junctions with CoFeB electrodes: infuence of annealing temperature / J. Scola, H. Polovy, C. Fermon el al. // Appl. Phys. Lett. 2007. Vol. 90. P. 252501. 2.
  2. Effect of diffusion and alloying on the magnetic and transport properties of Fe/V/Fe trilayers / D. Iuean, M. Alouani, O. Bengone et al // Phys. Rev. B. 2007. Vol. 75. P. 024412. 3.
  3. Magnetic properties and nonmagnetic phases formation in (Fe/Si)n films / S. N. Varnakov, S. V. Komogortsev, S. G. Ovchinnikov et al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 094703. 4.
  4. Формирование, кристаллическая структура и свойства кремния со встроенными нанокристаллитами дисилицида железа на подложках Si (100) / Н. Г. Галкин, Д. Л. Горошко, В. О. Полярный и др. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 1085. 5.
  5. Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме / С. Н. Варнаков, А. А. Лепешев, С. Г. Овчинников и др. // ПТЭ. 2004. В. 6. С. 125. 6.
  6. Влияние дефектов тонкого слоя оксида кремния на процессы силицидообразования в системе Fe/SiO2/Si(001) / В. В. Балашев, В. В. Коробцов, Т. А. Писаренко и др. // ФТТ. 2009. Т. 51. В. 3. С. 565. 7.
  7. Handbook of auger electron spectroscopy / L. E. Davis, M. S. McDonald et al. 2nd ed. // Minnesota. Perkin-Elmer Corp., 1976.
  8. Egert В., Pazner G. Bonding state of silicon segregated to a-iron surfaces and on iron silicide surfaces studied by electron spectroscopy // Phys. Rev. B. 1984. Vol. 29. № 4. P. 2091.
  9. Косырев Н. Н., Варнаков С. Н., Лященко С. А. Метод спектральной эллипсометрии для исследования оптических свойств естественного слоя SiO2 на поверхности: метод. указания к лаб. работам по курсу «Физика твердого тела» / Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. Красноярск, 2010.
  10. Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry. Principles and Application. Wiley, 2007.
  11. Горшков М. М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974.
  12. Таха Х. А. Глава 3. Симплекс-метод // Введение в исследование операций = Operations Research: An Introduction. 7-е изд. М.: Вильямс, 2007. С. 95-141.
  13. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет: пер. с англ. М.: Мир, 1981.
  14. Bruggeman D. A. G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen // Annalen der Physik. 1935. Vol. 24 (416). P. 636.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2010 Varnakov S.N., Yakovlev I.A., Lyashchenko S.A., Ovchinnikov S.G., Bondarenko G.V., Varnakov S.N., Yakovlev I.A., Lyaschenko S.A., Ovchinnikov S.G., Bondarenko G.V.

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

This website uses cookies

You consent to our cookies if you continue to use our website.

About Cookies