СРАВНЕНИЕ СИЛИЦИДОВ ЖЕЛЕЗА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ И ТВЕРДОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ


Цитировать

Полный текст

Аннотация

Представлены результаты исследований силицидов железа, полученных методами молекулярно-лучевой и твердофазной эпитаксии, с помощью дифракции отраженных быстрых электронов, электронной оже-спектроскопии, спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и спектральной эллипсометрии.

Об авторах

С Н Варнаков

Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева

кандидат технических наук, старший научный сотрудник Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнева. Окончил Сибирскую аэрокосмическую академию имени академика М. Ф. Решетнева в 2001 г. Область научных интересов - низкоразмерные структуры, вакуумная техника, электронная спектроскопия; Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева

И А Яковлев

Сибирский государственный аэрокосмический университет

Email: copok_iet@mail.ru
студент кафедры технической физики Сибирского государственного аэрокосмического университета. Область научных интересов - сверхвысоковакуумная технология многослойных наноструктур, дифракция отраженных быстрых электронов; Сибирский государственный аэрокосмический университет

С А Лященко

Сибирский государственный аэрокосмический университет

Email: fenics_star@mail.ru
студент кафедры технической физики Сибирского государственного аэрокосмического университета. Область научных интересов - сверхвысоковакуумная технология многослойных наноструктур, спектральная эллипсометрия; Сибирский государственный аэрокосмический университет

С Г Овчинников

Институт физики имени Л. В. Киренского

доктор физико -математических наук, заместитель директора Института физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, профессор кафедры электронной техники и телекоммуникаций Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнева. Окончил Красноярский государственный университет в 1972 г. Область научных интересов - особенности спинового, зарядного и орбитального упорядочений в кобальтитах, магнитные переходы в Fe2O3, энергии возбуждения и квантовых фазовых переходов в оксидах меди, экспериментальное наблюдение виртуальных электронных состояний мотт-хаббардовского диэлектрика FeBO3 в спектрах инфракрасного поглощения; Институт физики имени Л. В. Киренского

Г В Бондаренко

Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук

Email: churilov@iph.krasn.ru
кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник Института физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук. Окончил Ростовский-на-Дону государственный университет в 1959 г. Область научных интересов - рентгеноспектральный флуоресцентный анализ вещества; Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук

S N Varnakov

I A Yakovlev

S A Lyaschenko

S G Ovchinnikov

G V Bondarenko

Список литературы

  1. Noise in MgO barrier magnetic tunnel junctions with CoFeB electrodes: infuence of annealing temperature / J. Scola, H. Polovy, C. Fermon el al. // Appl. Phys. Lett. 2007. Vol. 90. P. 252501. 2.
  2. Effect of diffusion and alloying on the magnetic and transport properties of Fe/V/Fe trilayers / D. Iuean, M. Alouani, O. Bengone et al // Phys. Rev. B. 2007. Vol. 75. P. 024412. 3.
  3. Magnetic properties and nonmagnetic phases formation in (Fe/Si)n films / S. N. Varnakov, S. V. Komogortsev, S. G. Ovchinnikov et al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 094703. 4.
  4. Формирование, кристаллическая структура и свойства кремния со встроенными нанокристаллитами дисилицида железа на подложках Si (100) / Н. Г. Галкин, Д. Л. Горошко, В. О. Полярный и др. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 1085. 5.
  5. Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме / С. Н. Варнаков, А. А. Лепешев, С. Г. Овчинников и др. // ПТЭ. 2004. В. 6. С. 125. 6.
  6. Влияние дефектов тонкого слоя оксида кремния на процессы силицидообразования в системе Fe/SiO2/Si(001) / В. В. Балашев, В. В. Коробцов, Т. А. Писаренко и др. // ФТТ. 2009. Т. 51. В. 3. С. 565. 7.
  7. Handbook of auger electron spectroscopy / L. E. Davis, M. S. McDonald et al. 2nd ed. // Minnesota. Perkin-Elmer Corp., 1976.
  8. Egert В., Pazner G. Bonding state of silicon segregated to a-iron surfaces and on iron silicide surfaces studied by electron spectroscopy // Phys. Rev. B. 1984. Vol. 29. № 4. P. 2091.
  9. Косырев Н. Н., Варнаков С. Н., Лященко С. А. Метод спектральной эллипсометрии для исследования оптических свойств естественного слоя SiO2 на поверхности: метод. указания к лаб. работам по курсу «Физика твердого тела» / Сиб. гос. аэрокосмич. ун-т. Красноярск, 2010.
  10. Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry. Principles and Application. Wiley, 2007.
  11. Горшков М. М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974.
  12. Таха Х. А. Глава 3. Симплекс-метод // Введение в исследование операций = Operations Research: An Introduction. 7-е изд. М.: Вильямс, 2007. С. 95-141.
  13. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет: пер. с англ. М.: Мир, 1981.
  14. Bruggeman D. A. G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen // Annalen der Physik. 1935. Vol. 24 (416). P. 636.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Варнаков С.Н., Яковлев И.А., Лященко С.А., Овчинников С.Г., Бондаренко Г.В., Varnakov S.N., Yakovlev I.A., Lyaschenko S.A., Ovchinnikov S.G., Bondarenko G.V., 2010

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах