STUDY OF COMPOSITION OF RESIDUAL AND PLASMA-FORMING GASES IN THE VACUUM COATERS - PDF (Орыс тілі)


© Miheev A.E., Harlamov V.A., Kryuchek S.D., Chernyatina A.A., Homenko I.I., 2013

Creative Commons License
Бұл мақала лицензия бойынша қолжетімді Creative Commons Attribution 4.0 International License.