Отправить статью по E-mail Исследование состава остаточного и плазмообразующего газов в камере установки вакуумного напыления - PDF (Русский)
© Михеев А.Е., Харламов В.А., Крючек С.Д., Чернятина А.А., Хоменко И.И., 2013
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.