ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР ЖЕЛЕЗАНА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХУСЛОВИЯХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ - PDF (Русский)


© Александрова Г.А., Вайтузин О.П., Березицкая Е.П., Паршин А.С., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., 2009

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.