ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР ЖЕЛЕЗАНА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХУСЛОВИЯХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ - PDF (Русский)
© Александрова Г.А., Вайтузин О.П., Березицкая Е.П., Паршин А.С., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., 2009
![Creative Commons License](http://licensebuttons.net/l/by/4.0/88x31.png)
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.