Настольная автоматическая установка монтажа золотой проволоки методом «шарик-клин»

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Описана настольная автоматическая установка термозвуковой микросварки для монтажа золотых проволочных выводов диаметром от 17,5 до 50 мкм, имеющая систему автоматического совмещения рабочего инструмента с разноуровневыми контактными площадками и прецизионную трехосевую координатную систему на основе сервоприводов. Установка обеспечивает автоматический монтаж выводов по предварительно занесенным в память координатам точек межсоединений.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

И. Петухов

ОАО «Планар-СО»

Автор, ответственный за переписку.
Email: petuchov@kbtem.by

к. т. н., начальник научно-технического центра

Белоруссия

Е. Летунович

ОАО «Планар-СО»

Email: petuchov@kbtem.by

начальник лаборатории

Белоруссия

Список литературы

  1. Достанко А. П. [др.]. Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые. / Минск: Бестпринт, 2009. 202 с.
  2. Harmann G. G. Wire bonding in microelectronics. Third Edition. / N.Y.: McGraw Hill, 2010. 427 p.
  3. Abe H., Kang D. C., Yamamoto T., Yagihashi T., Endo Y., Saito H., Horie T., Tamate H., Ejiri Y., Watanabe N. and Iwasaki T. Cu wire and Pd-Cu wire package reliability and molding compounds, 2012. IEEE 62nd Electronic Components and Technology Conference, IEEE, San Diego, CA, pp. 1117–1123.
  4. Appelt B. K., Tseng A., Chen C.-H. and Lai Y.-S. Fine pitch copper wire bonding in high volume production, Microelectronics Reliability, Vol. 51. No. 1, 2011, pp. 13–20.
  5. https://www.hesse-mechatronics.com/en/
  6. https://www.kns.com/Products/Equipment/Ball-Bonder
  7. https://www.fkdelvotec.com/en/medien/downloads/
  8. https://www.asmpacific.com/en/products?equipment=4
  9. Петухов И. Б. Стабилизация сварочного усилия в процессе ультразвукового монтажа проволочных и ленточных выводов // Технологии и конструирование в электронной аппаратуре. 2021. № 1–2. С. 49–53.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2. Рис. 1. Методы микросварки: а – шарик-клин; б – клин-клин

Скачать (25KB)
3. Рис. 2. Положение ультразвукового преобразователя на позиции присоединения. Δh – разновысотность контактных площадок

Скачать (13KB)
4. Рис. 3. Система управления по одной координатной оси

Скачать (15KB)
5. Рис. 4. Блок-схема ПИД-регулятора по одной координатной оси: Kv – коэффициент скорости; Ka – коэффициент ускорения; Kp – коэффициент пропорциональный; Kd – коэффициент дифференциальный; Ki – коэффициент интегральный; Kilimit – ограничение коэффициента интегрального; ФНЧ – фильтр низких частот

Скачать (18KB)
6. Рис. 5. Графические настройки ПИД-регулятора по одной координатной оси: а – оптимальная настройка ПИД-регулятора; б – неоптимальная настройка ПИД-регулятора (видны колебания на кривой скорости)

Скачать (630KB)
7. Рис. 6. Сварочная головка установки ЭМ-6705-02

Скачать (935KB)
8. Рис. 7. Форма высоковольтного импульса для формирования шарика на конце проволоки при масштабе осциллограммы 1 : 1000

Скачать (844KB)
9. Рис. 8. Внешний вид формируемых шариков на золотой проволоке диаметром 30 мкм

Скачать (19KB)
10. Рис. 9. Автоматическая установка термозвуковой микросварки ЭМ-6705-02 производства ОАО «Планар-СО» научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар»


© Петухов И., Летунович Е., 2023

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах